吉林师范大学 吉林省高校光电材料与器件工程中心, 信息技术学院, 吉林 四平 136000
设计了由N+1条水平通道、N条竖直通道和2N个微环构成的电光开关阵列器件，并对其传输特性进行了分析.通过在列微环上加载不同的工作电压，实现相应通道的开关功能.以5×4通道8微环结构为例，取波导芯的宽度与厚度均为1.5 μm，波导芯与电极之间的限制层厚度为2.0 μm，电极厚度为0.05 μm，微环与通道之间的耦合距离为0.1 μm.当开关电压为8 V时，该器件的插入损耗在2.79~4.31 dB范围内，串扰在-20 dB以下，消光比在12.5 dB以上.
微环谐振 电光开关 插入损耗 串扰 消光比 Microring resonance Electro-optic switch Insertion loss Crosstalk Extinction ratio 光子学报
2019, 48(11): 1148019
