吉林师范大学 吉林省高校光电材料与器件工程中心, 信息技术学院, 吉林 四平 136000
设计了由N+1条水平通道、N条竖直通道和2N个微环构成的电光开关阵列器件，并对其传输特性进行了分析.通过在列微环上加载不同的工作电压，实现相应通道的开关功能.以5×4通道8微环结构为例，取波导芯的宽度与厚度均为1.5 μm，波导芯与电极之间的限制层厚度为2.0 μm，电极厚度为0.05 μm，微环与通道之间的耦合距离为0.1 μm.当开关电压为8 V时，该器件的插入损耗在2.79~4.31 dB范围内，串扰在-20 dB以下，消光比在12.5 dB以上.
微环谐振 电光开关 插入损耗 串扰 消光比 Microring resonance Electro-optic switch Insertion loss Crosstalk Extinction ratio 光子学报
2019, 48(11): 1148019
1 吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室,电子科学与工程学院, 长春 130012
2 吉林师范大学, 四平 136000
3 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 长春 130021
阵列波导光栅(AWG)器件是波分复用(WDM)系统的一种关键器件,其中,聚合物阵列波导光栅由于其制备工艺、器件集成等方面的优势而受到人们的日益关注。侧壁散射损耗是聚合物阵列波导光栅损耗的一个主要因素,减少阵列波导光栅波导的侧壁损耗对制备低损耗阵列波导光栅具有重要意义。一种蒸气回溶技术被用来有效地减少硅基聚合物阵列波导光栅的散射损耗,该技术的机理是饱和溶剂分子融入并软化波导侧壁,增加其流动性, 从而降低波导侧壁粗糙度。用扫描电镜方法验证了用该技术能获得更光滑的波导侧壁。对直波导和阵列波导光栅样品进行回溶处理,测试后得到直波导的侧壁散射损耗减少2.1 dB/cm,阵列波导光栅中心信道和周边信道的插入损耗分别减少5.5 dB和6.7 dB,串扰减少2.5 dB。
平面光波回路 阵列波导光栅 蒸气回溶 插入损耗 串扰
