作者单位
摘要
1上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
在测量多表面平行样品时,多面干涉会影响测量结果。为了能改善多面干涉问题,介绍了等光程干涉仪,并研究了参考镜楔角的最佳补偿方式。在等光程干涉仪中,由于参考镜和分光镜的楔角和倾角的存在,测量结果中会带有回程误差。根据参考镜楔角的不同情况采用了不同的补偿,理论分析并确定了各种补偿的放置方式和补偿量,同时研究了倾角和楔角的大小对于要被遮拦光束高度和像方数值孔径NA的影响。再利用Zemax进行不同补偿方式下的干涉仪仿真,并根据仿真得到的干涉图PV值分析回程误差的大小。分析表明:选用最佳补偿方式,参考镜楔角为1′,回程误差优于0.003个波长。
应用光学
2022, 43(5): 950
王艳 1张齐元 2王全召 3陈秋白 1[ ... ]韩森 1,2,*
作者单位
摘要
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
2 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
3 苏州维纳仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
4 苏州科技大学数理学院, 江苏 苏州 215009
菲佐激光干涉仪使用的标准球面镜头通常只能在特定波长下使用。提出了一种通过调整镜头内部透镜间隔来改变其工作波长的方法,利用该方法设计了两款可变波长标准球面镜头,口径为19.05 mm,镜头光圈系数分别为5.6和8。镜头在各目标波长下的参考波前质量均满足设计要求,并分析了公差容限以确保镜头具有可实际加工性。根据可变波长标准镜头的装调和工作原理设计了机械结构,并研制出光圈系数为8的实验镜头,测得其透射波前峰谷值在标准632.8 nm激光干涉仪下小于λ/10(λ为入射光的波长),镜头的实际加工误差在容限范围内。使用多波长激光干涉装置和实验镜头测量了同一球面元件的面形,在5种波长下测量结果基本一致,实验结果表明,可变波长标准镜头可以用于实际检测。该类镜头的研发节约了检测成本,提高了标准镜头在激光干涉测量中的利用率,该镜头具有较高的工程应用价值。
成像系统 光学设计 标准球面镜头 可变波长 菲佐干涉仪 面形测量 
激光与光电子学进展
2021, 58(8): 0811004
陈秋白 1,2张齐元 2王艳 1,2许帅 2,3[ ... ]韩森 1,2,*
作者单位
摘要
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海 200093
2 苏州慧利仪器有限责任公司,江苏 苏州 215123
3 苏州科技大学数理学院,江苏 苏州 215009
4 苏州维纳仪器有限责任公司,江苏 苏州 215123
针对使用点光源的激光干涉仪在测量中容易出现相干噪声的问题,阐述了环形光源抑制相干噪声的原理,分析了环形光源半径及厚度与条纹可见度之间的关系,提出一种基于环形透镜产生环形光源的光学系统。该系统包括扩束系统、环形透镜和双远心镜头,根据菲索干涉仪中的准直镜头和干涉腔长得到环形光源的目标参数。使用Zemax分别设计了环形光源系统中的三个子系统,并保证各部分光学系统之间良好衔接。其中:环形透镜由一个非球面透镜旋转而成;双远心镜头可以使环形光源直径缩小到合理范围,并确保最后环形光源上每个离轴点的出射光束都与光轴平行。最终设计出环半径为0.38 mm、厚度为12.5 μm的环形光源,在准直透镜焦距为900 mm、干涉腔长为100 mm的情况下,干涉条纹可见度的理论值大于0.98。
测量 干涉量度分析法 环形光源 相干噪声 环形透镜 双远心镜头 
激光与光电子学进展
2021, 58(1): 0112003
庄锦程 1张齐元 2王芳 3吴鹏 3[ ... ]韩森 3,*
作者单位
摘要
1 苏州科技大学 数理学院,江苏 苏州 215009
2 苏州维纳仪器有限责任公司,江苏 苏州 215123
3 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
现有的焦距检测方法通常由于检测仪器光源波长与光学系统不完全匹配从而产生纵向色差影响检测结果。针对这一问题,研究光学系统纵向色差的变化规律,并确定在400 nm~1 000 nm波段用于表示其函数关系的Conrady公式和复消色差特性公式。根据光学系统近焦位置的离焦量与位置呈线性关系的特性, 提出使用菲索干涉仪测量5种不同波长的焦距位置,获得单透镜和双胶合镜头的纵向色差曲线。实验结果表明: 在400 nm~1 000 nm波段单色系统和消色差系统的纵向色差的函数关系分别符合Conrady公式和复消色差特性公式,研究结果为焦距的理论计算和精确检测提供了新的思路和参考。
纵向色差 波长 单色系统 消色差系统 菲索干涉仪 longitudinal chromatic aberration wavelength monochromatic system achromatic system Fizeau interferometer 
应用光学
2020, 41(5): 1037
作者单位
摘要
1 中国科学院高能物理研究所, 北京 100049
2 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
3 中国计量科学研究院, 北京 100029
4 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏苏州 215123
激光干涉仪在引力波发现中起着关键作用, 标准量子极限是干涉仪灵敏度进一步提高的主要障碍, 压缩态光场注入是超越标准量子极限的重要手段。分析了压缩态光场的主要特点, 讨论了压缩态光场的产生机制, 介绍了压缩态光场技术在超越标准量子极限中的应用。
引力波 激光干涉仪 标准量子极限 压缩态光场技术 gravitational wave laser interferometer standard quantum limit squeezing light techniques 
光学仪器
2019, 41(4): 85
作者单位
摘要
1 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022
2 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
3 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
4 苏州维纳仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
5 上海市计量测试研究院 机械与制造计量技术研究所, 上海201203
基于Zernike多项式波前拟合法, 提出计算离焦位置任意波长透射波前Zernike系数的算法, 在聚焦位置Zernike系数基础上补偿离焦距离内Zernike系数变化量.以典型的消色差望远物镜为例, 根据设计波长及权重优化其工作位置, 计算不同波长的聚焦位置与工作位置的离焦量, 使用该算法验证消色差系统工作位置任意波长Zernike系数.与在工作位置直接使用Conrady-Zernike公式对比表明, 该算法对于与位置有关的Zernike系数计算效果明显, Z1的绝对误差由6.78降低到了1.41, Z4的绝对误差由6.83降低到了1.45.
波前检测 Zernike系数 离焦 波长 消色差 Wavefront testing Zernike coefficients Defocus Wavelength Achromatic 
光子学报
2018, 47(7): 0712002
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
3 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
波前像差可以很好地反映光学系统的性能,波前检测结果通常用一组Zernike多项式线性组合表示。透射式光学系统波前需要在特定波长下检测,由于检测仪器的限制,目前只有少数波长的波前可以得到准确检测。提出一种新的思路,通过分析透射波前Zernike系数与波长的函数关系,间接反映波前随波长的变化规律,从而实现任意波长波前的检测。利用Zemax对光学系统建模,采集光学系统在不同波长时的波前Zernike系数,通过Matlab曲线拟合工具寻找Zernike系数与波长曲线可能存在的函数形式,并最终确定了Conrady-Zernike公式。模拟的光学系统使用这种解析式计算所得Zernike系数的最大误差在1%以内。结果表明透射式光学系统的波前Zernike系数与波长之间基本符合Conrady-Zernike公式的关系。
测量 波前检测 Conrady-Zernike公式 曲线拟合 Zernike系数 波长 
光学学报
2018, 38(2): 0212002
作者单位
摘要
1 北京师范大学 天文系, 北京 100875
2 中国科学院 高能物理研究所, 北京 100049
3 中国计量科学研究院, 北京 100029
4 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
5 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
激光干涉仪在引力波发现中起着关键作用,光量子噪声是干涉仪灵敏度进一步提高的主要障碍。详细分析了光量子噪声中霰弹噪声和辐射压力噪声产生的机制和主要特点,讨论了标准量子极限,扼要介绍了信号循环、压缩光场等标准量子极限突破技术。
引力波 激光干涉仪 霰弹噪声 辐射压力噪声 标准量子极限 gravitational wave laser interferometer shot noise radiation pressure noise standard quantum limit 
光学仪器
2016, 38(6): 488
作者单位
摘要
1 北京师范大学 天文系, 北京 100875
2 中国科学院 高能物理研究所, 北京 100049
3 中国计量科学研究院, 北京 100029
4 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
5 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
引力波是爱因斯坦广义相对论的重要预言,引力波探测是当代物理学最重要的前沿领域之一。以引力波探测为基础的引力波天文学是一门新兴的交叉科学,是对传统电磁辐射天文学的巨大拓展与补充。作为一种大型的精密光学仪器并作为引力波天文学研究的关键设备,激光干涉仪引力波探测器已在世界各地蓬勃发展起来,开辟了引力波探测的新时代。给出了激光干涉仪引力波探侧器的工作原理和基本光学结构,讨论了主要的性能参数,分析了光学镜的结构特点及测量方法。
引力波 激光 干涉仪 光学结构 gravitational wave laser interferometer optical structure 
光学仪器
2015, 37(4): 371
作者单位
摘要
1 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
2 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
引力波也叫引力辐射, 是爱因斯坦广义相对论中的一项重要预言, 是基础物理和天文学中一个重要的内容。人类为探索引力波付出了几十年的努力, 从早期的棒状探测器到后来的激光干涉引力波探测器, 各国学术机构和科学家们不断采用最先进的技术寻找引力波源, 探测器的探测范围和灵敏度也不断提高。在探测引力波的过程中, 形成了一门引力波天文学的新兴学科, 使人们逐渐了解宇宙的奥秘, 寻找宇宙中天体的运行规律, 而引力波也成为了当今科学界学术重点和热门课题。
引力波 广义相对论 引力波天文学 gravitational wave general relativity gravitational astronomy 
光学仪器
2014, 36(5): 461

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