北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院, 北京 100191
针对铌酸锂波导质子交换的精确控制提出了一种预热-反应方法, 建立了质子交换温控模型, 并对该模型进行了PID控制参数整定和温度波动误差分析, 在此基础上研究了质子交换过程中温度波动对H+浓度纵向分布的影响。采用预热-反应方法制作了波导样本, 实验测试了其折射率纵向分布, 并与传统工艺制作的波导样本测试结果进行对比, 验证了所提方法对质子交换精确控制的有效性。实验表明: 预热-反应方法折射率分布同理论计算折射率分布结果吻合更好。
铌酸锂波导 PID温度控制 质子交换 H+浓度纵向分布 折射率纵向分布 lithium niobate waveguides PID temperature control proton exchange longitudinal distribution of H+ concentration longitudinal distribution of refractive index
