1 西北工业大学 深圳研究院，广东 深圳 518057
2 西北工业大学 自动化学院，陕西 西安 710072
3 西安建筑科技大学 机电工程学院，陕西 西安 710075
4 上海航天技术研究院，上海 ，201109
5 北方广微科技有限公司，陕西 西安 710072
由于红外偏振焦平面的异构特性，在非均匀校正过程中需要考虑不同检偏通道的响应差异对整体校正效果的影响，其非均匀校正问题相较同构的普通红外焦平面更为复杂。针对红外偏振焦平面的非均匀校正问题，提出了一种基于场景偏振冗余估计的非均匀校正算法，通过对场景图像和由场景图像计算得到的偏振冗余估计图像进行统计，得到整个焦平面上所有像元响应在统计特性上的差异，然后分通道从两个方向对这些差异进行比较分析，得到更新后的增益校正系数，再通过辐射重定标抑制由于静止场景所造成的鬼影，得到当前状态下相机的增益校正系数。在这个过程中，通过偏振冗余估计评价之前的校正系数，自适应地实现增益校正系数的更新。最后使用真实场景数据进行测试，结果表明本文所提出的非均匀校正算法有效提高了所获取偏振图像的准确性。
红外偏振 偏振焦平面 非均匀校正 偏振冗余 infrared polarization polarization focal plane non-uniformity correction polarization redundancy
1 北方广微科技有限公司，北京 100089
2 昆明物理研究所，云南 昆明 650223
研制出一款640×512 高性能17 μm 非制冷氧化钒红外焦平面探测器。读出电路输入级采用镜像电路获得盲像元（Rd）和感光像元（Rs）电流差的积分电流（Iint），并能够有效抑制输入偏压噪声；同时采用逐行积分、逐列读出模式。氧化钒采用单层微桥工艺；像元桥臂间距缩至0.8 μm，以尽可能增大桥面及VOx 面积，有效提高像元响应率。器件采用高可靠性的金属真空封装。测试结果表明，器件的噪声等效温差（NETD）小于45 mK，响应率大于15 mV/K，热响应时间小于10 ms。
非制冷 红外焦平面 氧化钒 读出电路 uncooled IRFPA VOx ROIC NETD
1 安徽建筑大学 材料与化学工程学院, 安徽 合肥 230601
2 安徽建筑大学 功能分子设计与界面过程重点实验室, 安徽 合肥 230601
3 安徽建筑大学 材料与化学工程学院, 安徽 合肥 230601781
在微乳体系(十六烷基三甲基溴化氨/水/戊烷/戊醇)协助下, 采用钼酸钠和硝酸镧通过微乳反应制备了具有不同微结构的La2(MoO4)3。在表面活性剂CTAB浓度由0.2 mol/L增加到0.4 mol/L的过程中, La2-(MoO4)3的结构由蚕蛹状逐渐转变成近球形。经800 ℃煅烧处理4 h后的La2(MoO4)3∶Eu3+材料通过396 nm紫外光激发, 发射出由5D0→7F2的受迫电偶极跃迁产生的波长为617 nm红光, 且当Eu3+掺杂摩尔分数达到20%时, 发光强度达到最大。
微乳液 发光性能 microemulsion La2(MoO4)3∶Eu3+ La2(MoO4)3∶Eu3+ photoluminescence properties
1 昆明物理研究所, 云南 昆明 650223
2 北方广微科技有限公司, 北京 100089
氧化硅(SiOx)原位钝化层对氧化钒(VOx)薄膜电学特性的影响分析旨在改善像元微桥结构的光学吸收特性,提高热敏VOx 薄膜层的方阻和电阻温度系数(TCR)稳定性.采用离子束溅射沉积50 nm VOx 薄膜后,紧接着沉积30 nm SiOx 钝化层.通过原位残余气体分析仪(RGA)和衬底温度控制,调节氧化钒薄膜中的氧含量,分析了VOx 单层膜、SiOx/VOx 双层膜的电学特性随工艺温度的变化规律,原位残余气体分析仪(RGA)和150℃加温工艺提高了VOx 热敏层薄膜的方阻和电阻温度系数稳定性.
离子束溅射沉积 SiOx/VOx 双层膜 残余气体分析仪(RGA) 电阻温度系数(TCR) ion beam sputter deposition SiOx/VOx film stack residual gas analyser temperature coefficient of resistance
1 昆明物理研究所, 云南 昆明 650223
2 北方广微科技有限公司, 北京 100089
非制冷氧化钒红外焦平面像元光学设计旨在提高像元对红外辐射的吸收性能.由于非制冷红外探测器的工作波段通常在 8～14 .m范围内,要求像元在这个波段内具有较高的红外吸收率.采用光学导纳理论,进行像元微桥结构多层光学膜系优化设计.在器件工艺过程中,调节了桥面膜厚和高度,使桥面与 Si衬底上金属反射层之间形成一个谐振腔结构.通过红外傅里叶反射光谱和相对光谱响应测试分析验证表明:像元微桥结构光学设计后,增强了非制冷探测器微桥结构像元在 8～ 14 .m波段的红外吸收率和相对光谱响应.
非制冷氧化钒探测器 像元光学设计 谐振腔 傅里叶反射光谱 相对光谱响应 uncooled VOx infrared focal plane array pixel optical design syntonic cavity infrared Fourier reflection spectroscopy relative spectral response
非制冷红外焦平面探测器可以应用到红外瞄准、红外侦查、安防监控、消防搜救等多领域。论述了国产 640×512（20 μm）氧化钒非制冷红外焦平面热辐射传感器的主要设计方法及技术参数，包括 MEMS结构开发、读出电路设计、真空封装等关键技术，最终通过参数测试、车载成像验证了国产氧化钒非制冷红外探测器的性能指标可以满足民用、军用等领域的需求。
氧化钒 焦平面阵列 微机电系统 读出电路设计 VOx focal plane array（FPA） MEMS read-out circuit
