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同名作者【曹妩媚】论文列表

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材料与光电器件

HgCdTe液相外延薄膜生长及缺陷表征

魏彦锋 ^*陈新强曹妩媚

作者单位

摘要

中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

液相外延是制备HgCdTe薄膜材料的一项成熟技术,大尺寸的外延薄膜是研制HgCdTe红外焦平面列阵的基础.探讨了尺寸为30 mm×40 mm的HgCdTe液相外延薄膜生长技术,用红外透射光谱和X光貌相技术对材料进行了评价.并对HgCdTe薄膜表面的黑点缺陷、波纹起伏等特征形貌进行了讨论,指出黑点缺陷是杂质粒子在薄膜表面形成的包裹体,而表面波纹是由生长母液中的对流引起的.

液相外延碲镉汞缺陷

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红外与激光工程

2006, 35(3): 294