1 西安工业大学 a理学院
2 b计算机科学与工程学院
3 西安工业大学 c光电工程学院，西安 710021
基于Zernike多项式拟合三平面互检法，在理论上对光轴偏离、旋转角度以及有效面积对不同面型精度平面的测量误差进行了分析，并分别进行了实验验证.研究结果表明，旋转角度误差和有效面积对测量影响不敏感，可适当降低标定旋转角度成本；而光轴偏离对测量精度影响明显，在高精度面型绝对检测中应对其进行严格校准.
光学检测 绝对检测 干涉法 Zernike多项式 测量误差 计算仿真 Optical testing Absolute test Interferotry Zernike polynomials Measurement error Computer simulation
1 西安工业大学 理学院, 陕西 西安, 710021
2 西安工业大学 机电工程学院, 陕西 西安, 710021
针对井下爆炸装置主体密封螺纹的大径、中径、小径、螺距等参数的测量问题, 为了提高螺纹测量自动化程度, 在主体结构特点基础上研究了其外螺纹机器视觉测量方法。为了提高测量精度, 设计了基于双远心光学系统的外螺纹机器视觉测量系统。研究了螺纹图像区域提取方法、快速特征点提取方法、参数计算方法等。在所搭建平台上, 对所提出方法进行实验分析。实验结果表明, 被测螺纹导程为3 980.8 μm, 大径为65 435.6 μm, 螺纹小径为60 669.4 μm, 测量牙型高为2 383.1 μm, 满足4级螺纹精度要求, 证明了该方法的正确性和可行性。
双远心系统 螺纹检测 机器视觉 检测区域提取。 double-telecentric system screw measurement machine vision measuring regionextraction
1 西安工业大学 理学院, 陕西 西安 710021
2 西安工业大学北方信息工程学院, 陕西 西安 710025
3 西北工业大学 自动化学院, 陕西 西安 710072
为分析光学平面面形偏差, 以直径100 mm光学平晶为检测对象, 利用斐索干涉仪采集了被测光学平面的波面干涉图, 按照美国材料与试验协会(American Society for Testing and Materials, ASTM)标准方法, 通过分析, 能够定性反映出被测光学平面的面形偏差。计算并分析了波面偏差指标峰谷值PV和均方根值RMS, 将计算结果与利用ZYGO斐索干涉仪测得的数据对比, 偏差为10-3λ, 符合光学检测要求。综合考虑可操作性和计算精度, 这种基于ASTM的方法是一种行之有效的光学检测分析方法。
斐索干涉仪 干涉图 平面面形检测 ASTM方法 Fizeau interferometer interference fringes plane surface measurement American Society for Testing and Materials (ASTM)
