作者单位
摘要
1 宁波财经学院,浙江 宁波 315175
2 浙江大学 光电科学与工程学院,浙江 杭州 310027
3 宁波大学 高等技术研究院,浙江 宁波 315211
多年来,硅和锗一直被认为是合适制造探测器和集成光电器件的半导体材料。然而,与金刚石基器件相比,这种四价半导体的抗辐射损伤能力较差,而且在恶劣条件或高强光辐照下,器件的稳定性较差。近年来,金刚石因其优异的光学与力学性能,在集成光子学、传感和量子光学等领域展现了巨大的应用前景。利用激光诱导金刚石微纳结构为开发金刚石上的三维光互联器件、全碳探测器、石墨电阻以及单光子源的实现提供了一种有潜力的制备方法。阐述了飞秒激光诱导金刚石色心形成、石墨化和折射率变化的物理机制,在此基础上,进一步探究了飞秒激光诱导金刚石微纳结构在单光子源、传感器和光波导等方面的应用,并对未来发展趋势进行了展望。
飞秒激光 色心 单光子源 金刚石 传感器 波导 femtosecond laser color center single-photon source diamond sensor waveguide 
红外与激光工程
2020, 49(12): 20201057

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