1 英诺激光科技股份有限公司, 广东 深圳 518000
2 江苏微纳激光应用技术研究院有限公司, 江苏 常州 213000
与传统的激光钻孔不同,透明材料的bottom-up钻孔是将激光穿过材料,聚焦于材料的下表面,由底部一层一层地将材料向上去除。基于不同脉宽的激光,探讨了玻璃材料bottom-up钻孔的机理。结果表明:除了超短脉冲激光外,纳秒激光亦可以实现bottom-up钻孔,而且更容易实现零锥度钻孔;bottom-up钻孔效率随脉宽减小而降低,2 ns~50 ps激光的切割效率比超快激光高,此结果不同于常用的top-down加工的结果,文中亦尝试对此现象进行了解释。
激光加工 激光钻孔 玻璃 纳秒激光 超快激光 超短脉冲激光 零锥度
