1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室， 上海 201800
2 中国科学院研究生院， 北京 100049
在双波长半导体激光(LD)正弦相位调制(SPM)干涉仪中，通过注入电流调制LD波长的同时，光源的输出光强也被调制，影响了测量精度。提出了一种新的双波长LD SPM干涉仪，通过对干涉信号进行处理，得到与干涉信号相位相关的线性方程组，利用该方程组精确计算相位，消除了光源光强调制的影响，使测量误差由6 μm减小至1 μm，并利用该干涉仪与波长扫描技术相结合实现了绝对距离的测量，当待测距离为60~280 mm时，测量结果的重复性为1 μm。
测量 半导体激光器 双波长干涉仪 正弦相位调制 光强调制 中国激光
2011, 38(10): 1008001
