作者单位
摘要
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230027
以扫描探针显微理论为基础,讨论了基于光学纤维探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法,介绍了实验系统的构成和测量原理、光学探针的制作和软件控制技术,并且以日本产NSG自聚焦透镜为样品进行了光斑测量和分析.所得结果对于评价自聚焦透镜的成像性能具有重要意义.
光探针 自聚焦透镜 光斑测量 
光子学报
2004, 33(2): 244

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