浙江大学,光电工程系国家光学仪器重点实验室,国家光学仪器工程技术研究中心,浙江,杭州,310027
提出了一种基于动态均值滤波、二次曲线法解调和拟合法求光程差的数据处理新方法.与传统的算法比较,动态均值滤波避免了耗时的快速傅立叶变换,二次曲线法解调有更好的解调精度,拟合法求光程差可去除噪音较大的数据.新算法有快速、可使用的测量范围大和抗干扰能力强的优点.新方法可适用的白光干涉谱数据距离范围为10(m到100(m.在样品上采集到的白光干涉谱数据的对比度约为0.06、信噪比约为18dB.用新方法和传统方法分别对这些数据进行了处理.新方法处理结果的短期数据方差小于10nm,精度比常用方法好4倍.
白光干涉术 干涉谱 距离测量 信噪比 数据处理
