飞秒激光加工技术主要是利用激光焦点对材料进行微区去除，结合加工路径的精准规划和激光参数的精确调控，实现各种功能微结构的精密加工。然而，在实际加工过程中，材料表面并非都是理想平面，这引起激光焦点与材料表面的相对距离发生变化，导致材料表面接收的激光焦斑尺寸不一致，进而造成飞秒激光加工的微结构不均匀，最终不满足某些应用场景的实际需求。针对该问题，提出了基于分区域平面拟合和二维插值的两种校正方法，即在待加工区域内以少量采样点近似描述材料表面起伏形貌，并以此为依据校正加工路径的高度坐标，使飞秒激光加工过程中激光焦点和材料表面的相对距离控制在不影响加工效果的范围内。试验结果表明，这两种校正方法都能保证飞秒激光加工大面积微结构的均匀性和一致性，是解决非平整表面不易实现高品质微结构加工的有效方法。

针对当前大部分超快激光制造系统中存在的三维移动平台控制软件和光学显微镜软件集成化程度低而导致的操作方式繁琐等问题，设计了一种基于LabVIEW软件开发平台的集成化超快激光制造系统控制软件，以实现对超快激光制造系统的高效调控。该系统由飞秒激光器、三维移动平台、在线监测CCD、激光功率计、快门和计算机等六部分构成。设计思路是基于LabVIEW软件平台的多线程编程技术，将飞秒激光束的通断与三维移动平台的移动实现协调控制，采用CCD相机对样品进行对焦和监控加工状态，利用激光功率计对激光功率进行在线监测，并将其集成于同一界面以实现控制。实验证明，与常见超快激光制造系统相比，该系统稳定度高、操作简单、界面简洁、可扩展性强、调节效率高。

针对当前大部分超短超强激光实验中真空光路调控效率低、操作方式繁琐等缺点，设计了一种基于LabVIEW软件开发平台的集成化实验光路调节系统来实现对光路高效便捷的调控。该系统由光斑位置采集单元、光斑位置调节单元和计算机等三部分构成，其设计思路是利用激光光斑映射在CCD上的空间位置，实现光路指向定位的反馈，根据反馈信息设计人机交互界面实现光路指向的调控。该系统成功实现多线程并行运行，并将不同型号不同通讯方式的多个位移台控制器集成于同一界面控制。实验证明，与常用的手动调节系统相比，该系统对实验光路的调控更方便快捷，调节效率更高。