提出一种具有电磁诱导透明 (EIT)效应的太赫兹超材料。该结构单元由非对称排布的 2对双金属线 (aCWs)组成。当入射电场为垂直极化时, 所提结构在 0.580 8 THz附近产生磁束缚模式的相消干涉, 形成一个 Q值较高的异常透明峰。在单元中加入开口谐振环 (SRR), SRRs与非对称双金属线对之间产生干涉, 形成新的透明峰。加入 SRRs后, 2对双金属线干涉产生的透明峰的传感特性得到改善。仿真表明, aCWs以及其与 SRRs组合而成的结构 (aCWs/SRRs)可用于太赫兹的单频带通滤波、双频滤波以及传感。

本文设计了一种具有电磁诱导透明(EIT)效应的太赫兹超材料，其单元结构由水平放置的单金属线以及垂直放置的双金属线组成。仿真结果表明，通过单金属线绕其自身中心旋转，可以激发出电磁诱导透明效应。金属线的旋转角度逐渐变大，透明峰的幅度也随之增大，当旋转角度为60°时达到最大值；旋转角度进一步增大，透明峰的幅度逐渐降低；旋转角度为90°时，透明峰消失。仿真说明该结构可以通过单金属线的旋转调控透明峰的出现。最后，对旋转角度为60°时结构的传感特性进行了分析。该结构设计简单，具有可调性、较高的Q值以及良好的传感特性。

微光机电系统（MOEMS）微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型, 难以克服其吸合效应造成的各种问题, 同时, 方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配, 填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜, 该静电排斥驱动器以环形排列, 并围绕在镜面的周围, 达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204 μm, 并利用PolyMUMPS表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示, 该微镜具有0.62°的最大旋转角, 494 μs的响应时间和1.191 kHz的工作带宽, 适用于一般光束扫描等的应用需求。