1 中国科学院光电技术研究所, 成都 610209
2 电子科技大学 物理学院, 成都 611731
3 中国科学院大学, 北京 100049
为了解决目前光学分束器件衍射效率低的问题,在传统的Gerchberg-Saxton(GS)算法基础上, 对初始相位和迭代算法中的振幅限制方式作改进.先利用二次相位来作为迭代算法的初始相位, 再在迭代过程中将输出平面分为信号区和噪音区两部分, 保持这两部分的相位不变, 信号区内振幅乘上一个随迭代次数不断变化的因子, 噪音区内振幅保持不变. 通过该方法设计9×9连续面形的分束器件, 并与传统GS算法设计的分束器进行了对比, 结果表明: GS算法设计得到的分束器相位存在严重的突变和不连续等问题, 而本文方法设计得到的分束器相位连续平滑, 可利用移动掩模技术加工. 最终制备出1×3和1×9分束器, 其实测的衍射效率分别为83.5%和89.4%, 均匀性误差分别为3.56%和15.23%.
衍射 二元光学 Gerchberg-Saxton算法 移动掩模技术 衍射光学元件 分束器 Diffractive Binary optics Gerchberg-Saxton algorithm Moving mask technique Diffractive optical element Beam splitter
