作者单位
摘要
安徽大学 光电信息获取与控制教育部重点实验室,安徽 合肥 230601
光学自由曲面因其表面自由度较多而难于进行检测。干涉检测法具有高精度非接触的特点,但传统干涉仪中的静态补偿器在自由曲面加工过程中未知面形不断变化的情况下,难以实现原位检测。因此,可编程控制的大动态范围自适应补偿器成为近年来自由曲面干涉检测中的研究热点。结合课题组在自由曲面自适应干涉检测领域的工作,介绍了光学自由曲面自适应干涉检测的最新研究进展,详细分析了基于可变形镜和空间光调制器的自适应干涉检测技术,介绍了针对干涉图目标的自适应控制算法,总结了两大类自适应检测方法的优点以及发展瓶颈,并对未来自由曲面的自适应检测技术进行了展望。
自由曲面检测 自适应干涉检测法 可变形镜 空间光调制器 freeform surface testing adaptive interferometry DM LC-SLM 
中国光学
2021, 14(2): 227
Author Affiliations
Abstract
Department of Optoelectronic Engineering, Beijing Insititute of Technology, Beijing 100081, China
We report the laboratory experiment on a segmented mirror testbed that shows the use of a dispersed Rayleigh interferometer to phase segmented mirrors. Segment alignment of tip-tilt is fulfilled by overlapping diffraction pattern centroids of the three individual segments on the focal plane. A spherical interferometer is introduced to evaluate the performance of piston, tip-tilt sensing, and control closed-loop, and finally a total residual root-mean-square (RMS) surface error of about 45 nm is achieved, in which a typical error of about 20 nm is contributed by piston. These results demonstrate that the dispersed Rayleigh interferometer can successfully sense the piston of segmented mirrors and be used in phasing segmented telescopes under extensive studies.
拼接镜面 共相位 色散瑞利干涉仪 共相位检测与控制平台 120.3180 Interferometry 120.1088 Adaptive interferometry 120.2830 Height measurements 120.6085 Space instrumentation 
Chinese Optics Letters
2009, 7(11): 1007
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所,北京,100083
2 北京理工大学光电工程系,北京,100081
研究对环境振动和空气扰动所造成的两相干光束间常数项光程变化不敏感的自适应移相干涉系统.利用偏振分光技术,采用闭环控制,并将高频振幅调制与锁相技术相结合,建立一斩波式自适应移相干涉系统,可对环境振动引起的干涉条纹的抖动进行实时探测并予以光程补偿,将干涉条纹依次锁定在与任意相位差相对应的位置.该方法不受两相干光束间光程差大小的限制且具有高信噪比.阐述了该方法的原理,描述了所建立的系统,并给出了实验结果.
自适应移相干涉技术 声光调制 振动探测与补偿 反馈控制 
光学学报
2002, 22(7): 858

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