吴名俊 1,2谭荣清 1,2,*李辉 1宁方晋 1[ ... ]白进周 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院空天信息创新研究院激光工程技术研究中心,北京 100094
2 中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京 100049
为实现高重复频率、窄脉冲激光输出,研制了一台声光调Q射频波导CO2激光器。首先,采用矩形波导耦合损耗理论分析了波导耦合效率与全反镜曲率半径、全反镜到波导口距离的关系,获得了波导耦合损耗较小时的优化参数。其次,研究了工作气压与激光输出的关系,以及脉冲拖尾长度与Q开关开启时间的关系。当工作气压为6.5 kPa,Q开关开启时间为0.6 μs时,获得了无拖尾脉冲波形,并分析了峰值功率、平均功率、脉宽等参数随重复频率的变化规律。设计的激光器可实现重复频率1 Hz~100 kHz可调。当Q开关开启时间为0.6 μs、重复频率为1 kHz时,获得的脉冲宽度为108.2 ns,峰值功率为2809.6 W;当重复频率为100 kHz时,脉宽为135.1 ns,峰值功率为257 W。当重复频率为70 kHz时,测得xy方向上的光束质量因子分别为1.50和1.21。
激光器 波导CO2激光器 高重复频率 窄脉冲宽度 声光调Q 
中国激光
2023, 50(22): 2201008
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
3 中国人民解放军96035部队,吉林 吉林 132101
机载激光雷达是实现远距离大气精准监测的重要手段,CO2激光器工作谱段与部分大气污染物和化学物质吸收谱一致,是大气监测激光雷达的重要光源。面向机载要求,在控制体积重量的条件下实现−40 °C~55 °C宽温域工作是机载CO2激光器温控系统的设计难点。因此,本文提出一种以激光器性能和环境温度为设计输入,半导体热电制冷与强制风冷相结合的闭环温控方法。根据激光器、半导体热电制冷和强制风冷等的结构与传热特性,建立温控方法的有限元模型,基于此模型对激光器温控性能进行研究。对于55 °C高温环境,温控系统工作25 min后,激光器温度控制在40 °C;对于−40 °C低温环境,温控系统在工作20 min后,激光器温度控制在25 °C,满足激光器正常工作要求。根据激光器及建立的温控方法,开展高低温环境下激光器工作能力实验研究,采集实验过程中的激光器温度数据,测量高低温条件下激光输出能力。实验结果表明:实测激光器温度与有限元仿真温度数据基本吻合,两者误差小于10%;采用所提出的温控方法,激光器在高低温条件下可以正常工作,输出功率与室温条件下一致。
CO2激光器 宽温域 半导体热电制冷 散热结构 温控方法 CO2 laser wide temperature range thermo-electric cooler heat dissipation structure temperature control method 
中国光学
2023, 16(2): 390
卢越 1,2朱子任 1,2白进周 1,2叶静涵 1,2[ ... ]李业军 3,**
作者单位
摘要
1 中国科学院空天信息创新研究院,北京 100094
2 中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京 100049
3 中国原子能科学研究院,北京 102413
典型的可调谐横向激励大气压[TE(A)] CO2激光器输出激光的脉冲宽度为100~300 ns,并伴有3~10 μs的脉冲“拖尾”,在9~11 μm范围内输出约100条分立谱线。针对窄脉冲和连续调谐CO2激光器的应用需求,开展了多大气压CO2激光器的研究。采用高压脉冲调制电源,结合高气压脉宽压缩和光栅选线技术,实现连续调谐红外激光输出,脉冲宽度为30~50 ns。当工作电压为72 kV、气压为7.07×105 Pa时,输出激光脉冲的能量为590 mJ,脉冲宽度为35.7 ns,并在10R(32)至10R(26)谱线之间实现连续调谐输出。
激光器 CO2激光器 多大气压 连续调谐 脉宽压缩 
中国激光
2022, 49(23): 2301008
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激光与物质相互作用国家重点实验室,吉林 长春 130033
2 工业和信息化部电子第五研究所,广东 广州 510000
3 火箭军装备部驻哈尔滨地区军事代表室, 黑龙江 哈尔滨 150028
4 北方自动控制技术研究所,山西 太原,030006
面向机载激光差分吸收雷达对小型轻量化激光光源的应用需求,研制了紧凑型自动调谐脉冲CO2激光器。首先,研究了射频波导腔内光束和自由空间光学斩波光束孔径匹配关系,设计了具有实焦点的腔内光束变换系统,实验验证了斩波器通光孔径对激光脉冲波形的影响。其次,研究了CO2激光器的波长调谐特性,分析了相邻激光谱线光栅衍射角度差,并基于高精度电动转台和金属闪耀光栅,实现了CO2激光器波长自动调谐输出。最后,基于小型轻量化模块设计,完成了紧凑型自动调谐脉冲CO2激光器集成。实验结果表明,该激光器在1 kHz条件下运转稳定,脉冲宽度为350 ns,峰值功率为3.7 kW,在9.2~10.7 μm范围内测试到30条激光谱线,重量为18 kg,本文研究为机载激光差分吸收雷达提供了一种小型化探测光源。
CO2激光器 机械调Q 波长自动调谐 小型化集成 CO2 laser mechanical Q-switch wavelength automatic tuning miniaturization integration 
中国光学
2022, 15(5): 1007
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 空间激光传输与探测技术重点实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 材料与光电研究中心, 北京 100049
3 上海市激光技术研究所, 上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233
扩散冷却、射频激励的板条结构CO2激光器具有效率高、体积小和光束质量好的优势, 在激光精密退火、工业加工等应用领域越来越被重视。高功率射频激励、扩散冷却板条CO2激光器在千瓦级及以上的CO2激光精密加工及微电子装备中占有重要地位, 已成为高功率、高光束质量连续CO2激光器的主流发展方向。就CO2激光器技术发展, 重点围绕射频驱动板条结构高功率CO2激光器技术的国内外研究动态进行了调研, 梳理了技术发展阶段及应用情况, 并对技术发展趋势进行了展望。
板条CO2激光器 射频激励 扩散冷却 高功率 slab CO2 laser RF excitation diffusion cooling high power 
应用激光
2022, 42(1): 108
作者单位
摘要
1 华中科技大学光学与电子信息学院,湖北 武汉 430074
2 湖北第二师范学院物理与机电工程学院,湖北 武汉 430205
3 厦门大学航空航天学院,福建 厦门 361005
大功率射频板条CO2激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO2激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO2激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO2激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用。
激光器 大功率射频板条CO2激光器 扩散冷却 非稳-波导混合腔 光束整形 射频激励 气体放电 
中国激光
2022, 49(12): 1201005
作者单位
摘要
1 1. 中国科学院空天信息创新研究院,北京 100094
2 2. 中国科学院大学 电子电气与通信工程学院,北京 100049
射频电源是RF-CO2激光器中的一个重要部件。在开发一个新的RF-CO2激光器时,由于激光器负载和射频电源匹配失调,在调试过程中容易造成射频功放功率管击穿、烧损。为解决这一问题,设计了一套集数据采集、自动保护控制和可视化技术为一体的RF-CO2激光器射频电源监控平台。平台采用软件和硬件相结合的方式,在射频电源中嵌入控制模块,搭建数据采集系统和自动保护系统,并结合电路设计软件平台完成对射频电源的数据信息采集和保护控制。经过实验测试,平台可以有效避免射频电源功率管的损坏,实现射频电源的自动保护,并完成射频电源系统的数据采集和远程保护控制,缩短了RF-CO2激光器的调试周期,提高了整机的开发效率。
RF-CO2激光器 射频电源 电源监控 自动保护 RF-CO2 laser RF power supply power monitoring automatic protection 
红外与激光工程
2021, 50(S2): 20210035
安晓明 1,2,*葛新岗 1,2刘晓晨 1,2李义锋 1,2[ ... ]罗海瀚 3
作者单位
摘要
1 河北省激光研究所, 石家庄 050081
2 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司, 石家庄 050081
3 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200080
本文研究制备了可应用于高功率CO2激光器的CVD金刚石窗口。首先使用环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置沉积制备直径2英寸(1英寸=2.54 cm)金刚石自支撑膜, 然后将膜片双面抛光, 激光切割成矩形基片, 再采用蒸镀法在基片表面制备中心波长在10.6 μm的增透膜, 最终制备得到金刚石光学窗口。采用傅里叶红外透射谱、热导仪、爆破试验台测试了金刚石基片镀膜前后的红外透过率、热导率和爆破强度。利用自行搭建的光学平台, 测试了CVD金刚石基片增透膜能承受的激光功率密度。结果显示CVD金刚石基片在10.6 μm处的透过率为70.9%, 利用光谱计算的吸收系数为0.06 cm-1, 热导率>19.5 W/(cm·K), 爆破强度>5.62 MPa, 镀膜后的透过率为99.2%, 增透膜可承受的激光功率密度>995 W/mm2。
CVD金刚石 增透膜 光学窗口 高功率CO2激光器 CVD diamond antireflective coating optical window high power CO2 laser 
人工晶体学报
2021, 50(6): 1010
郑义军 1,*朱子任 1,2谭荣清 1,2石佳俊 1,2[ ... ]刁伟伦 1
作者单位
摘要
1 中国科学院电子学研究所, 北京 100190
2 中国科学院大学, 北京 100049
报道了一种采用双路高速伺服电机驱动光栅选线的方式, 实现9~11 μm CO2激光快速调谐输出。双光路谱线切换时间小于100 μs, 单光路谱线切换时间小于50 ms。激光器输出谱线达70条, 其中9P(20)、9P(28)单脉冲输出能量大于100 mJ, 9R(30)、9P(40)单脉冲能量大于90 mJ, 激光脉冲宽度小于100 ns,重复频率为20 Hz。
CO2 激光器 快速调谐 双光路 CO2 laser rapidly tuning dual optical path 
红外与激光工程
2020, 49(1): 0105001
潘其坤 1,2,*俞航航 2,3陈飞 1,2谢冀江 2[ ... ]张阔 2
作者单位
摘要
1 解放军电子工程学院 脉冲功率激光技术国家重点实验室, 安徽 合肥 230037
2 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激光与物质相互作用国家重点实验室, 吉林 长春 130033
3 中国科学院大学, 北京 100049
采用双声光调制器光路快速偏转技术与自准直光栅法实现CO2激光全波段快调谐同光路输出。首先对声光调制器特性进行实验研究, 结果显示: 声光调制器偏转角度约为44°, 与运用布拉格方程计算结果相符; 且激光单次通过声光调制器移频量为4068 MHz,与声光驱动器射频频率一致, 将激光往返多次经声光调制器的移频量叠加。进而, 开展基于声光调制器的CO2激光快调谐实验研究, 运用两个对称布置的同驱动频率声光调制器补偿声光移频, 实现偏转光路振荡输出, 运用光栅法在直线光路中实现激光全波段可调谐输出。最终, 在声光调制器时序控制下, 实现双波长激光快调谐同光路输出, 选定激光波长的切换时间约为1 ms, 脉宽小于300 ns, 且双波长切换速度不受CO2激光跃迁谱带的限制。
CO2激光器, 快调谐, 声光调制器, 光栅 CO2 laser rapidly tunable acousto-optic modulator grating 
中国光学
2019, 12(2): 355

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