1 华东理工大学 机械与动力工程学院 承压系统安全科学教育部重点实验室, 上海 200237
2 华东理工大学 资源与环境工程学院, 上海 200237
采用一种相对简单而又精确的光度法来计算弱吸收基底上弱吸收薄膜的光学常数, 为低损耗紫外薄膜的设计与实现提供了理论基础。采用JGS1型熔融石英基底, 制备了MgF2与LaF3材料的单层膜, 获得了JGS1型熔融石英基底及MgF2与LaF3薄膜的光学常数色散曲线。结果显示：在200 nm左右处, JGS1型熔融石英基底的吸收已经比较明显, 消光系数在10-8量级, 因此, 应考虑基底的弱吸收, 以提高薄膜光学常数的计算精度。
紫外薄膜 光度法 光学常数 MgF2薄膜 LaF3薄膜 ultraviolet film photometric method optical constants MgF2 film LaF3 film
1 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
2 中国科学院,研究生院,北京,100049
在189,255,277和321 ℃的沉积温度下用热舟蒸发方法制备了LaF3薄膜.通过X射线衍射(XRD)测试了薄膜的晶体结构;采用分光光度计测量了薄膜的透射光谱,并计算得到样品的折射率、消光系数和截止波长;利用光学干涉仪测试得到了薄膜的残余应力;采用三倍频Nd:YAG脉冲激光测试了薄膜的激光损伤阈值.结果表明:随沉积温度的提高,LaF3薄膜的结晶状况明显变好,晶粒尺寸逐渐变大;膜层变得更加致密,折射率变大,然而薄膜吸收变得严重,截止波段向长波漂移,同时薄膜的残余应力也增加,内应力在薄膜的残余应力中起着决定作用;薄膜的激光损伤阈值在高温制备时相对较高.
LaF3薄膜 沉积温度 晶体结构 折射率 残余应力 激光损伤阈值
