为了提高傅里叶红外光谱仪干涉系统的精度, 设计了一种基于一体化分束器的自动装调系统。 使用光学胶水将棱镜与分束器固定在一起组成一体化分束器, 在一体化分束器上设置三点调整机构, O点位置进行固定作为参考点, 在X点、 Y点位置装入压电陶瓷, 利用压电陶瓷驱动分束器进行微小位移的调整。 在动镜匀速运动的情况下, 利用四象限检测器检测三路携带相位差信息的信号, 对信号进行放大滤波和数字化处理后, 采用DSP的ECAP模块捕捉三路相位差信号, 并利用增量式PID算法根据相位差来对三个点位的调整幅度进行实时控制, 使用DSP的AD模块采集三路信号, 并利用USB2.0与上位机进行通信, 在上位机上实时显示三路信号图形及相位差信息。 利用光学胶水的紫外固化特性, 在支架上安装紫外照射灯, 调整过程中不断增加照射强度使光学胶水进行深度固化, 从而制作出符合傅里叶变换红外光谱仪应用需求的一体化分束器。 实验结果表明, 所设计的基于一体化分束器的自动装调系统具有结构简单, 调整精度高等优点, 其能够满足常规红外分束器装调需求。
一体化分束器 压电陶瓷 傅里叶变换红外光谱仪 Integrative beam splitter Piezoelectri ceramics Fourier transform infrared spectrometer 光谱学与光谱分析
2017, 37(9): 2937