1 吉林大学 集成光电子学国家重点实验室, 长春 130012
2 清华大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
为了解决飞秒激光加工硬质材料所带来的表面质量差的问题, 提出了离子束刻蚀与飞秒激光复合加工技术.利用飞秒激光加工技术在碳化硅表面制备微纳结构图形, 然后通过离子束刻蚀技术对碳化硅微纳结构进行刻蚀, 以调控结构的线宽和深度, 使结构表面粗糙度由约106 nm降低到11.8 nm.研究表明, 利用该技术制备的碳化硅菲涅尔波带片展现出良好的聚焦和成像效果.
超快激光 半导体加工技术 离子束刻蚀 碳化硅 微光学元件 Ultrafast lasers Semiconductor device manufacture Ion beams etching Silicon carbide Micro-optical components 光子学报
2018, 47(12): 1214003
