1 北京化工大学 理学院, 北京 100029
2 中国科学院 上海光学精密机械研究所 上海市全固态激光器与应用技术重点实验室, 上海 201800
为了优化表面等离子体共振传感器的灵敏度, 基于薄膜光学理论, 分析了银-金双金属层表面等离子体共振传感器的反射率和灵敏度随金属薄膜厚度变化的规律。发现在满足共振角反射率小于1%的条件下, 银膜和金膜厚度存在一定的取值范围; 在此厚度范围内, 传感器的灵敏度随着金属薄膜(银膜与金膜)厚度的增大而提高, 灵敏度增量最大可达5°/RIU。结果表明, 在保证一定共振角反射率的前提下, 可通过增加双金属层中金属薄膜的厚度提高双金属层表面等离子体共振传感器的灵敏度。
传感器技术 表面等离子体共振 双金属层 灵敏度 sensor technique surface plasmon resonance bimetallic film sensitivity
