作者单位
摘要
1 湖北工业大学机械工程学院现代制造质量工程湖北省重点实验室,湖北 武汉 430068
2 湖北工业大学理学院,湖北 武汉 430068
针对超快激光三维多焦点均匀性不高的问题,本文提出了一种基于反馈加权3D-GS算法的三维多焦点光场重建技术。用CCD相机实时采集多焦点的能量和位置信息,优化全息图,然后将优化后的全息图加载至空间光调制器,得到目标结构的高均匀性三维多焦点光束。利用此方法实现了4个面47个点的“HBUT”三维多焦点结构以及15个面15个点的三维多焦点螺旋结构,前者的多光束均匀性超过了96%,后者的多光束均匀性达到了94%。将传统3D-GS算法与反馈加权3D-GS算法迭代计算得到的上述两种结构的多焦点能量分布结果进行对比,结果显示,反馈加权3D-GS算法能有效提高三维多焦点的焦斑能量分布均匀性。
激光光学 反馈加权3D-GS算法 三维多焦点 光场重建 高均匀性 空间光调制器 
中国激光
2023, 50(10): 1005002
作者单位
摘要
中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所,河南 洛阳 471000
照明系统是投影光刻曝光光学系统的重要组成部分,它实现的功能是为掩模面提供高均匀性照明、控制曝光剂量以及不同照明模式。变焦系统作为光刻照明系统的重要组成部分,对提高整个光刻机的性能起着至关重要的作用。文中针对紫外光刻照明系统的特点,采用CODE V软件完成了波长365 nm,入瞳直径Φ33 mm,像方远心度≤10 mrad,畸变≤±2%近紫外光刻照明系统中变焦系统的设计,分析了变焦系统的误差源对系统光瞳性能的影响,结合变焦系统的设计方案和实际加工能力,给出单面厚度公差需小于20 μm,动件移动精度小于0.5 nm,各透镜偏心公差小于0.02 mm,各透镜倾斜公差控制在1′之内。制定公差合理、可行,满足了紫外光刻照明系统高均匀性、高能量利用率的要求。
紫外光刻 高均匀性照明 分辨率 光学设计 公差分析 ultraviolet lithography high uniformity illumination resolution optical design tolerance analysis 
红外与激光工程
2022, 51(7): 20210524
作者单位
摘要
1 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心, 重庆 400714
2 中国科学院大学, 北京 100049
大面积平行光曝光机是印刷线路板(PCB)、显示面板和触摸屏等电子产品重要的制造设备,由于采用复眼结合反射镜的非轴对称科勒照明光路,其曝光均匀度只有0.85左右,难以满足高精度加工制造的需求。针对此问题,提出了采用自由曲面复眼替代传统的球面复眼,建立了高均匀度复眼单元的自由曲面面型设计方法。光线追迹仿真实验结果显示,采用所提方法后曝光均匀度提高到了0.91以上,满足高精度加工制造所需的高曝光均匀度的要求。所设计的自由曲面复眼的面型连续,可以通过金刚石车削进行精密加工,有望在大面积平行光曝光机照明光路中得到广泛应用。
光学设计 高均匀度 自由曲面 曝光机 复眼透镜 
激光与光电子学进展
2018, 55(4): 042201
作者单位
摘要
1 南京理工大学 机械工程学院, 江苏 南京 210094
2 清华大学 电子工程系, 北京 100084
提出了一种高均匀性低噪声的读出电路, 该电路通过抑制非制冷红外焦平面阵列固定模式噪声, 从而可实现高质量的红外图像.该电路前端采用了行共享的增益可控NMOS管抑制像元固定模式噪声, 同时采用了新型的相关双采样电路抑制列固定模式噪声.在仿真基础上, 采用了AMS 0.35 μm CMOS工艺完成了16 × 16像元芯片的制备.对芯片的大量测试结果表明提出的读出电路可以有效地降低非制冷红外焦平面阵列的固定模式噪声, 同时具有高均匀性的特点, 适用于高性能非制冷红外探测器.
读出电路 固定模式噪声抑制 相关双采样 高均匀性 readout circuit fixed patter noise suppression correlated double sampling high uniformity 
红外与毫米波学报
2018, 37(3): 261
作者单位
摘要
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
设计了一种应用于瞬时热量标定系统的太阳模拟器光学系统,系统由短弧氙灯、椭球聚光镜和通道反射式积分器组成。介绍了椭球聚光镜的设计准则和限制要求,分析了积分器的工作原理和体均匀性,讨论了辐照面大小要求和安装空间的限制,最后,优化了系统设计并进行了仿真模拟。仿真结果表明,当选用近轴放大倍率为45、积分器管长为85 mm时,若采用7 000 W氙灯,即能够获得3%的均匀性和4 250个太阳常数的辐照强度;若采用5 000 W氙灯,则可在均匀性不变的情况下获得2 980个太阳常数的辐照强度,两者均满足使用要求。
太阳模拟器 氙灯 瞬态热量标定系统 光学系统 高能量密度 高均匀性 solar simulator Xe lamp transient calorimeter calibration system optical system high energy density high uniformity 
中国光学
2012, 5(6): 630

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