强激光与粒子束
2022, 34(11): 115003
强激光与粒子束
2022, 34(7): 075008
强激光与粒子束
2022, 34(7): 075019
河北大学电子信息工程学院,河北 保定 071002
为了便于气体放电等离子体的起燃,驱动恒流源需要较高的开路电压,同时因气体放电具有负阻效应,起燃后维持放电所需的电压远小于起燃电压,起燃后富余的电压会造成恒流源具有较大功耗。鉴于此,提出一种降低气体辉光放电驱动用恒流源功耗电路方案,给出电路原理图并详细分析其工作原理。本方案使用开路电压略高于气体放电维持电压的恒流源来降低功耗,使用高压脉冲压电陶瓷来保证气体放电可靠起燃,恒流源与高压脉冲电路由高压硅堆隔离后并联工作。实验结果表明,当电路工作正常时,可降低约为50%的功耗。在直流辉光放电实验平台上对镀锌板进行样品精密度的实验测试,发现Cu、Si和Mo等元素含量(谱线强度)的相对标准偏差(RSD)均优于2%。
表面光学 高压脉冲压电陶瓷 开路电压 功耗 负阻效应 高压硅堆 激光与光电子学进展
2021, 58(19): 1924001
强激光与粒子束
2021, 33(6): 065007
强激光与粒子束
2020, 32(6): 063004
中国工程物理研究院 应用电子学研究所, 高功率微波技术重点实验室, 四川 绵阳 621900
设计了一种基于功率金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的高压脉冲电源。该发生器采用多只MOSFET的串联技术, 形成高压、高重复频率开关组件。用高压开关组件开展脉冲发生器设计, 搭建了一个15只1 kV的高速MOSFET串联的脉冲发生器实验装置, 在500 Ω负载上获得前沿小于5 ns、幅度大于10 kV、脉宽约100 ns, 瞬态频率达400 kHz的高压脉冲。设计的高压开关组件结构紧凑, 可靠性高, 可应用于多种脉冲发生器。
高压开关组件 高压脉冲 高重复频率 脉冲发生器 high voltage switch module high voltage pulse high repetition rate pulse generator 强激光与粒子束
2019, 31(4): 040022
1 中国科学院 安徽光学精密机械研究所, 光子器件与材料安徽省重点实验室, 合肥 230031
2 中国科学技术大学 科学岛分院, 合肥 230026
简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用, 介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点。着重阐述了全固态高压脉冲电源在光刻用准分子激光器和EUV光源中的应用。大功率半导体开关结合多级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源有效替代传统基于闸流管的高压脉冲电源, 实现了光刻光源高重复频率下的长寿命运行。介绍了中国科学院安徽光学精密机械研究所近十年来, 在准分子激光器的全固态高压脉冲电源研究上的相关进展。最后, 对未来半导体光刻光源对全固态脉冲电源的需求进行了展望。
全固态高压脉冲电源 半导体光刻 准分子激光 磁开关 闸流管 all-solid-state high-voltage pulse power supply semiconductor lithography excimer laser magnetic switch thyratron 强激光与粒子束
2019, 31(4): 040019
中国工程物理研究院 应用电子学研究所, 高功率微波技术重点实验室, 四川 绵阳 621900
设计一种一体化D-dot探头开展脉冲功率装置中传输线高电压测量工作。D-dot探头安装在传输线外筒上,主要由基座、密封电缆头、探头外壳、绝缘层、信号电极和连接杆构成。采用同轴螺纹连接及限位结构将探头各部件形成一个整体,实现结构的紧凑性和拆装过程的完整性。利用密封BNC探头和无氧铜密封圈实现良好的密封性能,同时减小探头的弹性余量保证测量的准确性。设计了较小的探头对地电容,从而获得良好的高频响应。采用OrCAD/Pspice开展电路模拟,结果显示设计的探头满足信噪比和前沿响应要求。采用CST开展静电场模拟,结果显示设计的D-dot探头可以满足1 MV传输线电压下的绝缘要求。标定和实验结果表明该探头可以响应前沿为几十ns的信号,能够满足测量需要。
脉冲高压 一体化D-dot探头 脉冲传输线 标定 high voltage pulse integrative D-dot monitor pulse transmission line calibration 强激光与粒子束
2018, 30(9): 095004
1 微光夜视技术重点实验室,陕西 西安 710065
2 昆明物理研究所,云南 昆明 650223
针对装配有自动门控电源的像增强器在高照度的情况下会出现闪烁的现象,结合自动门控电源阴极高压脉冲信号的离散特性和人眼视觉特性,分析了整管在高照度的情况下出现人眼可见闪烁现象的原因及解决办法,提出亮度最小可觉差和视觉暂留效应是有关人眼观察舒适性的重要特性。在高照度的情况下,由于自动亮度控制功能的介入,阴极高压脉冲信号的占空比会自动降到一个较低的值,但是由于器件的限制,阴极高压脉冲信号占空比的步进值是一个固定的常数,故阴极高压脉冲信号的占空比越低,其步进值对阴极高压脉冲信号的影响越大,最终也就对像增强器的屏极亮度稳定性影响越大。通过对人眼视觉特性的分析及对阴极高压脉冲信号的计算,给出了阴极脉冲信号允许的最小占空比及最小开启脉冲宽度的要求,并给出了计算方法。
微光像增强器 自动门控电源 高压脉冲 人眼视觉特性 image intensifier auto-gating power source high voltage pulse human visual system