为了研究激光光强均匀度对GaAs电池转换效率的影响, 基于单结GaAs电池的工作原理, 利用等效电路对其在受到不同光强激光照射时的光电转换效率进行分析, 并通过实验测量不同光强均匀度情况下GaAs串联电池组的光电转换效率。结果表明, 光强均匀度对GaAs电池组的光电转换效率有很大影响。在极限条件下, 由光强不匀均性引起的热斑效应还会造成电池片的损毁。

采用时域有限差分方法，在分析点衍射波前误差的前提下，讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响；逐步优化光学结构参数，得到不同光学结构参数之间的匹配数值表；通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果，得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000，且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度，验证了光学结构参数选择的合理性。

在间接驱动的惯性约束聚变(ICF)驱动器中，为控制靶腔入口及其附近光场的偏振特性及辐照均匀性，采用二维光谱角色散(2D-SSD)、随机相位板(RPP)和正交偏振板(OPCP)联用的束匀滑方案，数值模拟和理论分析了OPCP对焦面及离焦面处光场偏振特性以及强度均匀性的影响，并讨论了正交偏振板单元数的选取问题。结果表明，不同单元数正交偏振板对焦面及其附近光场偏振特性和强度均匀性的影响程度不同，且光场偏振特性对离焦并不敏感。此外，离焦会使强度均匀性变差，适当增加正交偏振板单元数可以在一定程度上减弱这种影响。

点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论，分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响，确定了PDI检测极紫外光刻(EUVL)元件和系统时的最佳直径大小。分析计算得出，当用PDI检测数值孔经（NA）为0.3的系统时，采用直径大小为800 nm的小孔较为适宜，其衍射波前均方根(RMS)偏差为6.51×10-5λ，强度均匀性为0.812。当用PDI检测NA为0.3的元件时，采用直径大小为500 nm的小孔较为适宜，其衍射波前的RMS非对称偏差为8.40×10-5λ，强度均匀性为0.664。

相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度，其中小孔的直径是最主要的因素，在实际加工前，需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论，分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光和TM偏振光入射情况下，小孔直径大小对衍射波面质量的影响。入射光的线性偏振，给衍射波面中引入了像散和彗差。分析计算得出，为了获得数值孔径(NA)为0.1，相对于理想球面波的均方根(RMS)偏差不大于0.005 λ(λ=13.55 nm)，强度均匀性为0.4的参考球面波，对90 nm厚的小孔选择直径大小为70 nm较为适宜。