电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 611731
为了准确地设计声表滤波器, 需要从参考声表面波(SAW)谐振器的测量值中提取精确的材料参数。测量SAW谐振器时, 单个谐振器无法直接进行测试, 需要引出传输线并使用GSG或GS探针进行测量, 消除传输线影响的去嵌入过程对于SAW谐振器材料参数的准确提取非常重要。该文介绍了几种声表面波谐振器的去嵌入技术, 包括Open-Short算法、电磁仿真方法、分段等效电路模型方法、集**数等效电路法。通过实例验证了几种常用的去嵌方法并对其进行了分析。
去嵌入 SAW谐振器 机电耦合系数 等效电路 集**数法 de-embedding SAW resonator electromechanical coupling coefficient equivalent circuit lumped parameter method
1 浙江工业大学 机械制造及自动化教育部重点实验室，浙江 杭州 310014
2 浙江工业大学 激光加工技术工程研究中心，浙江 杭州 310014
针对菲涅耳公式计算金属材料激光吸收率所得的结果与实际测得的吸收率值存在一定的误差这一问题，在详细分析了激光热处理中金属材料吸收率影响因素的基础上，通过数值模拟，改进了金属材料激光吸收率的计算模型，并利用此激光吸收率计算模型(以铝、铜、铂、铁4种金属材料为例)进行激光吸收率的计算和分析，进而计算了3Cr13不锈钢激光吸收率的理论值，该值与用集**数法测得的3Cr13不锈钢材料激光吸收率结果相吻合，从而验证了该改进的金属材料激光吸收率计算公式的正确性。
激光技术 金属激光吸收率 集**数法 laser technique metal laser absorptivity lumped parameter method
浙江工业大学 机械制造及自动化教育部重点实验室，杭州 310014
为了在激光热处理过程中能更好地控制工件温度，并为激光热处理的数学模拟提供更为准确的激光吸收率数据，研究了材料表面粗糙度对激光吸收率的影响原理，等效处理了材料表面轮廓线，建立了数学模型，采用集**量法测得激光的吸收率，得到的激光吸收率与理论公式计算所得的光吸收率相吻合。结果表明，所建立的模型可以准确地描述材料表面粗糙度对激光吸收率的影响，更有利于激光热处理各项参量的控制。
激光技术 激光吸收率 粗糙度 集**量法 laser technique laser absorptivity surface roughness lumped parameter method
