1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春130033
2 中国科学院大学, 北京100049
随着科学技术的发展, 各个研究单位对编码器的精度要求越来越高, 因此, 在编码器研制生产过程中, 需要对其误差进行检测, 虽然现有检测装置能够完成编码器的误差检测, 但都存在着不足之处。文章在参考大量文献的基础上, 首先介绍了光电编码器的原理,其次介绍了国内外编码器检测装置的结构及原理, 并分析其优缺点, 最后对其发展方向进行了展望。
光电编码器 误差 检测装置 photoelectric encoder error measurement devices
