1 西北工业大学理学院陕西省光信息技术重点实验室, 陕西 西安 710072
2 西北工业大学理学院超常条件材料物理与化学教育部重点实验室, 陕西 西安 710072
基于等效介质理论和多层衍射元件的本体相位延迟,考虑增透膜相位调制的影响,对多层衍射光学元件的表面微结构参数进行优化;采用优化设计方法分析应用于可见光波段镀有增透膜的多层衍射光学元件。结果表明:优化设计方法在保证增透膜物理作用的前提下,实现了在设计波长处的衍射效率为100%以及在宽波段内具有高多色光积分衍射效率;该方法弥补了传统多层衍射光学元件的设计缺陷,完善了多层衍射光学元件的设计理论,为混合成像系统的设计提供了参考。
光学设计 增透膜 多色光积分衍射效率 多层衍射光学元件 入射角度 衍射效率
长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
以衍射光学元件(DOE)相位延迟表达式为基础，研究并给出了多层衍射光学元件(MLDOE)的带宽积分平均衍射效率(BIADE)与相应设计波长关系的表达式。在MLDOE的基底材料确定后，由所给出的表达式可以得到最大BIADE及相应的设计波长，由此可以实现MLDOE的BIADE最大化、精确化设计。在0.4～0.7 μm可见光波段，以聚甲基丙烯酸酯和聚碳酸酯为基底材料，通过优化得到最大BIADE为99.3%，相应的设计波长为0.435 μm和0.598 μm，各层谐衍射元件(HDE)的微结构高度分别为16.460 μm和12.813 μm，所得到的BIADE比以0.4 μm和0.7 μm为设计波长时高4%。
衍射光学 多层衍射光学元件 衍射效率 带宽积分平均衍射效率
