中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
本文归纳了基于分波前干涉原理的具有代表性的干涉测量方法--杨氏双孔干涉法、逆波前杨氏干涉法和非冗余孔径阵列干涉测量法, 以及基于分振幅干涉原理的干涉测量方法--自参考干涉测量法; 介绍了各种测量方法的工作原理、实验配置; 比较了4种测量方法的优缺点, 并给出每种方法的最佳应用领域。本文结论可为根据对空间相干性测量的不同要求, 选择合适的测量方法提供初步参考。
空间相干性 杨氏干涉法 逆波前杨氏干涉法 非冗余孔径干涉法 自参考干涉法 spatial coherence Young interference method reversed-wavefront Young interference method nonredundant array interference method self-referencing interference method
