为了提高曲率半径的测量精度，提出后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量方法，研究了后置分光瞳差动共焦测量原理和虚拟针孔定位算法。在共焦测量系统的探测光路中通过D型光阑遮挡，使一半测量光束聚焦在焦面探测CCD，采用虚拟针孔定位算法对该CCD探测的艾里斑进行分割焦斑差动相减归一化探测，然后利用差动共焦曲线的零点对被测件的“共焦”位置和“猫眼”位置进行精确定焦并测得它们之间的距离，最终实现曲率半径的高精度测量。实验结果表明：该方法测量的曲率半径为-121.209 4 mm，测量重复性优于5×10^-6，无需根据测量物镜和被测镜的参数进行硬件调整，不仅满足曲率半径高精度测量的需求，还简化了光路结构，缩减了研制装调成本，为曲率半径的高精度、快速测量提供了新途径。