中国科学院西安光学精密机械研究所，陕西 西安 710119
径向剪切干涉仪所采集到的干涉图并不直接反映原始待测波面信息，为了获得原始待测波面信息，波面重构是必要的。推导了波面重构的迭代算法，并用Matlab分别对径向剪切中不同迭代次数、不同剪切比的波面重构迭代算法进行了数值模拟，得出以下结论：合适的剪切比可以简化迭代运算，提高运算速度；与小畸变波面重构相比，残差波面PV值达到相同精度时，大畸变波面重构需要更多的迭代次数。待测波面的PV值大于10λ时，剪切比应在0.7以上，PV值大于6λ小于10λ，剪切比在0.5~0.7之间，PV值小于6λ，剪切比小于0.5。
径向剪切干涉 干涉测量 数值模拟 radial shearing interference interferometry numerical simulation 红外与激光工程
2016, 45(3): 0317001
1 电子科技大学 光电信息学院, 成都 610054
2 电子科技大学 物理电子学院, 成都 610054
为了测试相控阵激光雷达的关键器件液晶光栅相控阵的偏转光束波前, 以监控和评价雷达扫描光束的质量, 采用带有光束变向功能的径向剪切干涉测量方法, 进行了理论分析和实验验证, 取得了口径为10mm×10mm的偏转波前测试系统与商用WYKO干涉仪的比对测试数据。两种仪器对同一块平面样板测出的波前之差的峰谷值小于λ/20, 均方根值小于λ/200, 还取得了实测液晶光栅相控阵不同偏转光束的波前数据。结果表明, 该方法可以对液晶光栅相控阵的偏转波前进行高精度测试。
测量与计量 偏转波前测量 径向剪切干涉 液晶光栅 光学相控阵 measurement and metrology deflection wavefront measurement radial shearing interference liquid-crystal grating optical phased array
