随着MOEMS扫描镜的发展, 其较高的谐振频率及IC兼容的低成本等优点在激光3D图像传感器中应用前景广阔, 研究外参数激励MOEMS扫描镜动力学特性与控制问题具有重要的理论和应用价值。从欧拉方程出发, 建立静电驱动MOEMS扭转动力学模型, 利用四阶Runge-Kutta算法仿真表明: 在外参数指令信号激励下, MOEMS扫描镜扭转状态经历阻尼运动、周期、倍周期和混沌等动力学过程, 其中周期运动存在着一个较大的参数控制范围。根据 Lyapunov稳定性理论, 设计了一种连续混沌系统追踪控制器, 使受控的MOEMS扫描镜扭转状态收敛于任意期望的指令信号。实验表明, 李萨如图指令信号适用于激光3D图像传感器; 几何矢量指令信号适用于激光3D打印系统, 理论分析与实验相一致。