具有快速上升沿、低开关损耗的SiC MOSFET已逐渐在固态高压脉冲电源中使用。针对固态Marx发生器中的常见短路故障，分析了SiC MOSFET的过流损坏机制，提出了一种新型的带过流保护的驱动系统。该驱动系统不仅实现了宽驱动信号同步输出，同时能够在整个SiC MOSFET导通期间提供过电流钳制效果。驱动系统中的保护电路利用SiC MOSFET门极电压与漏极电流的关系，通过单个采样电阻和一对反向串联的稳压管将SiC MOSFET门极电压拉低的方式来限制过电流。实验结果表明：当开关管的导通电流较小时，虽然门极电压会有轻微下降，但是SiC MOSFET的导通阻抗仍然很低；而在过电流故障发生时，门极电压会被快速拉低，开关管的导通阻抗急剧上升，从而迅速将导通电流钳制在安全范围内。