氟锂铍（FLiBe）熔盐作为液态熔盐堆的冷却剂和载体盐，具有一定的慢化性能，其热中子散射数据影响熔盐堆的中子学性能，进而影响熔盐堆物理设计和安全运行。基于通用蒙特卡罗粒子输运程序分析了液态FLiBe熔盐的热中子散射数据对65 MW熔盐堆堆芯中子能谱、不同能谱下有效增殖因数k_eff、核素反应率、温度反应性系数等中子学性能的影响。研究结果表明：考虑FLiBe熔盐热散射效应，堆芯中子能谱变硬，导致²³⁵U裂变反应率和k_eff变小，燃料的温度反应性系数中多普勒系数减小0.28×10^-5 K^-1，而密度反应性系数几乎无变化。当堆芯由热谱转变为相对较快的中子能谱时，FLiBe熔盐热散射效应导致²³⁵U裂变率减少的变化量降低，k_eff的下降幅度从9.2×10^-4变为2×10^-4。因此，熔盐堆堆芯物理计算需开展FLiBe熔盐的热中子散射数据影响的量化。

电子束直写技术具有分辨率高、操作简单等优势，是制备微纳米曲面器件的一种理想工具。光刻胶的吸收能量沉积密度分布直接决定了直写后图形的精度和分辨率，由于曲面直写时吸收能量沉积密度分布非对称，因而现有的平面直写工艺不再适用于曲面直写。本文采用基于立方体计算微元的Monte Carlo方法计算不同直写参数变化下的吸收能量沉积密度分布。仿真结果表明：随着入射能量或入射角度的增加，直写点的椭圆度也在增加；而减小束斑和薄胶层可以提升曲面直写的分辨率。实验结果表明：在其他参数不变下，以入射能量（5、10、15 keV）和入射角度（5°、10°、15°）进行单一变量实验，直写点的长宽比分别为1.458、2.323、2.924和1.014、1.113、1.173。可以看出，入射能量对椭圆度地增加更为明显。实验与仿真有了较好地验证，本文结果为曲面直写工艺参数选择提供理论依据。