1 上海大学物理系,上海市高温超导重点实验室,上海 200444
2 上海大学(浙江)高端装备基础件材料研究院,浙江 嘉善314113
3 上海大学电子信息材料系,上海 200444
在相对湿度低于90%(<90% RH)的大气环境下,通过界面种子层修饰策略,利用气动喷涂法制备出高结晶度、界面接触良好、结构稳定的CsPbIBr2厚膜。界面种子层的引入对CsPbIBr2厚膜的光学带隙(2.10~2.12 eV)没有太大的影响,但明显增强了其对光的吸收和发射,并且荧光寿命也明显延长(从0.95 ns 到4.49 ns)。由此厚膜制备的二极管型光电探测器(p-n CsPbIBr2-ITO)具有非常低的暗电流(5.70×10-10 A),并且展示出高效的光电探测性能:高开关比(1.8×104)以及微秒级别的响应时间(上升时间和下降时间分别为9 μs、13 μs)。当未封装的CsPbIBr2光电探测器处在<90% RH的大气环境下,其表现出强的抗水抗氧能力:储存60 d后,其仍能保持初始开关比的83%。所提方法为在大气环境下制备低成本、高性能、长效稳定的二极管型CsPbIBr2光电探测器提供了一种有效的途径。
探测器 二极管型光电探测器 界面种子层 大气环境 气动喷涂 光学学报
2023, 43(14): 1404002
1 大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室, 辽宁 大连 116024
2 大连理工大学 精密与特种加工技术教育部重点实验室, 辽宁 大连 116024
3 海信新研发中心, 山东 青岛 266100
为了获得可靠的金属纳米尖的制作方法, 设计了基于模板微电铸工艺制备金字塔型纳米Ni尖的工艺流程并进行了实验验证。利用(100)型单晶硅的各向异性腐蚀特性在40%的KOH溶液中腐蚀以制备倒金字塔型的硅模具, 采用磁控溅射与正胶剥离工艺获得了厚度为200 nm的Ni种子层薄膜并进行金属图形化, 之后进行微电铸实验, 最后, 利用KOH腐蚀硅模具以释放金字塔型实体Ni纳米尖。实验结果表明: 利用ICP干法刻蚀代替HF酸腐蚀SiO2掩蔽窗口, 可将模具制作的相对误差降低约9%; 金字塔型Ni纳米尖的底部边长尺寸约为140 μm, 纳米尖最小曲率半径为54 nm; 微电铸工艺复制精度约为99%。采用微电铸工艺并结合硅片自停止刻蚀技术, 能够稳定可靠地制备出金字塔型Ni纳米尖, 实现了金属纳米尖的批量化制备, 从而降低了制造成本, 为纳米尖的广泛应用奠定了基础。
纳米尖 硅模具 各向异性刻蚀 微电铸 种子层 nano-tips silicon template anisotropic etching microelectroforming seed layer
1 贵州民族大学 1. 机械电子工程学院
2 2. 材料工程学院, 贵阳 550025
以不同退火温度处理后的ZnO籽晶层为基底, 采用水热法生长了ZnO纳米棒阵列。对制备得到的ZnO纳米棒阵列的形貌、结构以及发光特性进行了表征, 分析了籽晶层的退火温度对ZnO纳米棒阵列的形貌及发光性质的影响, 发现通过调节籽晶层的退火温度, 可以控制ZnO纳米棒的大小及密度, 并发现在经400℃退火后的籽晶层上生长的ZnO纳米棒阵列形貌最佳, 发光性能最优。
籽晶层 退火温度 ZnO纳米棒 水热法 脉冲激光沉积 seed layer annealing temperature ZnO nanorods hydrothermal method PLD
东莞理工学院 电子工程学院,广东 东莞 523808
以不同热处理温度下制备的ZnO籽晶层为基底,采用水热法生长ZnO纳米棒阵列,对制备得到的ZnO纳米棒阵列的相结构和微观形貌以及发光特性进行了表征,分析了籽晶层热处理温度对ZnO纳米棒阵列性能的影响机理,发现在籽晶层热处理温度为450℃时,生长得到的ZnO纳米棒阵列空间取向最优,发光性能最好。
籽晶层 热处理温度 ZnO纳米棒阵列 水热法 seed layer annealing temperature ZnO nanorodarray hydrothermal method