针对蓝宝石有序纳米结构的制备，使用微波回旋共振离子源，研究了低能Ar+离子束在不同参数下刻蚀蓝宝石(C 向)表面形成的自组织纳米结构及其光学性能。结果表明，当离子束入射能量为1200 eV、束流密度为265 μA/cm2 时，随着入射角度的增大(5°~40°)，样品表面出现点状自组织纳米结构，该结构的有序性较差；当增加角度到45°时，样品表面出现了有序的条纹结构，在45°~70°时，增大离子束入射角度，样品表面沿离子束入射方向出现柱状结构，而在垂直于离子束入射方向，样品表面呈现出有序的条纹结构；随着离子束入射角度的增加，样品表面的纳米条纹结构的特征波长先减小(45°~60°)后逐渐增大(60°~70°)，在60°附近，特征波长达到极小值，约为21.1 nm。在70°~75°时，样品表面呈现纵横比较大的纳米点状结构。增加离子束的作用时间，样品表面的纳米结构纵向尺寸增大，有序性增加，但纳米结构横向周期基本不变。有序纳米结构的出现使得样品的透射率得到提升。自组织结构变化是溅射粗糙化和表面驰豫机制相互作用的结果。