清华大学 精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
针对图像内的细窄线宽, 提出了一种基于Zernike正交矩的亚像素图像线宽检测算法。该算法具有明确的几何模型, 通过计算图像的2阶和4阶Zernike正交矩, 推导出了亚像素线宽表达式。根据数字图像的离散性, 给出了计算正交矩所需的模板系数, 并分析了由离散性造成的原理误差。将所提出的亚像素线宽检测技术应用于安瓿内异物粒径的标定实验, 结果表明: 该算法可有效地测量弱小目标在图像中的亚像素线宽值, 从而得到了异物粒径大小与亚像素线宽之间的标定曲线。
线宽检测 Zernike正交矩 微粒标定 line width detection Zernike moment small particles calibration
