1 中国工程物理研究院激光聚变研究中心， 四川 绵阳 621900
2 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室， 浙江 杭州 310027
为解决大口径光学元件表面疵病检测设备的精确测量、校准和溯源问题。设计了用于标定表面疵病检测系统的标准板，通过电子束曝光将定标图案转移至掩模板，再采用反应离子束刻蚀的方法制作标准板。通过扫描电镜测量标准板上各标准线的真实线宽尺寸，并以扫描电镜测量结果为参考值标定大口径表面疵病检测系统。利用所设计的标准板标定基于散射成像法的大口径表面疵病检测系统。结果表明，当疵病线宽尺寸大于45 μm时，疵病的散射像满足几何成像原理，当疵病宽度尺寸小于45 μm时，需按标定结果进行计算。
光学设计 表面疵病 标准板 反应离子束 大口径光学元件 高功率激光驱动器 中国激光
2012, 39(s1): s116005
