1 中国工程物理研究院激光聚变研究中心， 四川 绵阳 621900
2 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室， 浙江 杭州 310027
为解决大口径光学元件表面疵病检测设备的精确测量、校准和溯源问题。设计了用于标定表面疵病检测系统的标准板，通过电子束曝光将定标图案转移至掩模板，再采用反应离子束刻蚀的方法制作标准板。通过扫描电镜测量标准板上各标准线的真实线宽尺寸，并以扫描电镜测量结果为参考值标定大口径表面疵病检测系统。利用所设计的标准板标定基于散射成像法的大口径表面疵病检测系统。结果表明，当疵病线宽尺寸大于45 μm时，疵病的散射像满足几何成像原理，当疵病宽度尺寸小于45 μm时，需按标定结果进行计算。
光学设计 表面疵病 标准板 反应离子束 大口径光学元件 高功率激光驱动器 中国激光
2012, 39(s1): s116005
1 暨南大学 理工学院光电工程系,广东 广州 510632
2 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
3 长春市产品质量监督检察院,吉林 长春 130022
研制了双探测器结构的滤光片型漫反射近红外光谱仪。用分束镜将单色光分成两束,一束光直接被一个探测器接收,另一束光经过积分球后照射到样品上,样品的漫散射光被积分球上的另一个探测器接收。将两个探测器的测量值相比较,计算出样品的吸光度。应用该仪器检测了漫反射标准板的漫反射率,测量值与标称值的相关系数平均为0.995,标准偏差平均为0.01。另外,使用该仪器测定了奶粉、牛奶及酱油相关成分含量,近红外光谱与奶粉的蛋白质和脂肪含量的相关系数＞0.9,与酱油及原奶的相关成分含量的相关系数＞0.8。检测结果表明,自制的双探测器结构滤光片型近红外光谱仪可以准确获得样品的漫反射率。
光谱仪 漫反射近红外光谱 双探测器结构 漫反射标准板 spectrometer diffuse near infrared spectrum double-detector configuration standard diffuse reflectance surface
采用多波长相干激光照明和不同的光束发散角,研究了聚四氟乙烯(F4)粉末压制的漫反射标准板的角反射分布特性和偏振特性,结果表明F4标准板无论对远场还是近场光束均呈现良好的漫反射特性并具有良好的解偏振性能。
角散射分布 聚四氟乙烯标准板 多波长激光
