电子科技大学 光电信息学院 光电探测与传感集成教育部重点实验室,成都 610054
采用有限元法针对微测辐射热计的热电耦合敏感机理进行研究。建立微测辐射热计精确三维有限元模型,采用动态热电有限元方法对器件的热电特性进行了分析,得到了其热电耦合场下的温度响应特性,并获取其热容、有效热时间常数和有效热导值等热学参数；采用该方法在微测辐射热计的设计阶段中,即可初步预判器件性能并为器件制备提供可靠的参考。所设计结构经流片验证,性能良好,且满足60Hz帧频成像要求。
微测辐射热计 有限元分析 热导 热时间常数 热电耦合场分析 micorobolometer finite element analysis thermal conductivity thermal time constant thermoelectricity fieldcoupling
