1 宁波大学高等技术研究院,浙江 宁波 315211
2 浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江 杭州 310027
3 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州 310027
随着通信、医学、化学、分析等领域的不断发展,微全分析系统、芯片实验室、微机电系统、高精度微纳器件开始出现并得到应用,这些系统或结构部分通过飞秒激光在透明材料内部制备三维微纳连通结构来实现。为此,本文介绍了飞秒激光制备透明材料内部三维微纳结构的主要技术,列举了三维微纳连通结构的主要应用,分析了当前飞秒激光制备三维微纳连通结构存在的问题,并对该技术未来发展趋势进行了展望。
飞秒激光 微流控 三维结构 透明材料 减材制造 激光与光电子学进展
2023, 60(21): 2100001
1 石河子大学机械电气工程学院,新疆 石河子 832003
2 兵团工业技术研究院,新疆 石河子 832003
飞秒激光辅助化学刻蚀加工技术在高质量、高深径比、高可控性的微孔加工方面独具优势,为微孔的制备提供了新的途径和方法。在微全分析系统、光纤中的三维光流控系统、谐振器制造中具有很大的应用潜力。本文综述了近年来飞秒激光辅助化学刻蚀加工透明介质材料的研究进展,包括飞秒激光改性区对刻蚀速率影响、强酸强碱化学溶液对刻蚀效果的影响、化学刻蚀步骤工艺的优化、飞秒激光辅助化学刻蚀加工方法的应用等,总结了飞秒激光辅助化学刻蚀微通道、结构加工机理以及工艺等方面面临的挑战,并对今后的研究重点进行了展望。
激光光学 飞秒激光 化学刻蚀 透明材料 激光与光电子学进展
2022, 59(19): 1900009
Institute of Laser Technology, Beijing University of Technology, Beijing 100124, China
ultrafast laser filamentation transparent material laser material processing
Institute of Laser Technology, Beijing University of Technology, Beijing 100124, China
ultrafast laser filamentation transparent material laser material processing
华中科技大学武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430074
基于激光热裂纹控制法, 提出了多焦点激光分离厚透明材料的方法。通过理论计算与ZEMAX软件模拟相结合的方式, 设计了能形成三个焦点的光路系统, 并利用该系统进行了夹层玻璃、磷酸二氢钾(KDP)晶体、超白玻璃等透明材料的切割分离实验。结果表明, 利用该方法得到的表面平整光滑, 无亚表面损伤, 粗糙度小, 有效解决了单个激光焦点热裂纹分离方法受材料厚度限制的问题, 该方法具有很大的应用前景。
激光光学 激光切割分离 多焦点 透明材料 裂纹控制法 中国激光
2017, 44(11): 1102008
华星电子集团有限公司红外分公司,陕西 咸阳 712099
近红外滤光片和中红外带通滤光片在航天、气象和遥感等领域都有重要的应用。红外滤光片是让红外光透过而使其他波长光截止的滤光片,它的主要指标是峰值透过率。带通滤光片的重要指标是峰值透过率和通带半宽度。光学薄膜的膜系结构和具体设计对这些指标起决定性作用。本文主要介绍这两种滤光片的几例实际运用。
透光材料 红外滤光片 峰值透过率 通带半宽度 实际应用 transparent material infrared filter peak transmittance passband half width practical application
1 山东理工大学 交通与车辆工程学院, 山东 淄博 255049
2 徐州建筑学院, 江苏 徐州 221008
提出了一种测定透明材料厚度的新方法。该方法是基于透明材料对光的折射特点, 利用光斑点面内位移与材料厚度的变化关系, 将厚度的测量转化为对面内位移的测量。将此方法与数字图像相关法相结合, 实现了单摄像机对厚度的测定。对轴向拉伸状态下的有机玻璃板的厚度变化进行了测定, 将实验结果与理论值进行了对比, 两者符合较好, 证明了该实验方法的有效性和可行性。
厚度 透明材料 数字图像相关 thickness transparent material digital image correlation (DIC)
1 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
2 Faculty of Physics and International Laser Center, Moscow State University, Moscow, 119992 Russia
3 General Physics Institute, Russian Academy of Sciences, ul. Vavilova 38, Moscow, 119991 Russia
利用广义非线性薛定谔方程, 研究了聚焦激光通过透明介质时, 感应等离子体的位置、大小及其同激光参数的关系。计算发现:对于给定衍射长度的激光波包, 感应等离子体浓度最大值随入射激光功率的增加而趋于一恒定值, 感应等离子体区域的大小随着入射激光波包功率的增加而变长、变粗; 对于给定功率的激光波包, 感应等离子体浓度随着入射激光波包的衍射长度的增加而减少; 对于不同衍射长度的激光波包, 随着激光功率的增加, 感应等离子体向不同方向发展。计算得到的等离子体的位置和形状的变化同Gordienko等的实验结果非常吻合。该研究有助于理解感应等离子体在介质中的形成过程, 推动其在激光加工中的应用。
非线性光学 透明介质 聚焦光波包 非线性薛定谔方程 等离子体
1 中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275
2 北京大学物理系,北京,100871
3 华南理工大学材料科学与工程学院,广州,510640
介绍了一种基于衍射光栅干涉和CCD图像测量的测量透明材料折射率的方法.这种方法使用的仪器少,操作简单,配合CCD与图像处理的运用,尝试的两种测量方案都使精度能够达到10-4.两种测量方案对同一玻璃基片的测量结果基本吻合,而第二种测量方案的测量精度要优于第一种,这是因为就我们目前的实验条件而言,CCD判别条纹移动的精度对折射率测量的影响要小于角度测量精度对之的影响.该方法还可以测量各向同性透明薄膜样品的折射率,为探索新型有机薄膜的折射率及其有关特性提供便利的手段.讨论了测量的基本原理和样品的测量结果,并对实验方法误差进行了分析.
光学测量 干涉与衍射 折射率 衍射光栅 透明介质