暨南大学光子技术研究院，广东省光纤传感与通信技术重点实验室，广东 广州 511443
光聚合微纳3D打印作为一种微纳尺度的增材制造技术，在高精度、复杂三维微纳结构的制造方面具有显著优势，已被广泛应用于微机电系统、微纳光子器件、微流体器件、生物工程领域。本文首先介绍了光聚合微纳3D打印技术的光物理/光化学原理，重点对所涉及的各种类型的打印工艺及其应用领域进行综述；然后讨论了一些前沿性的微纳3D打印方法，通过回顾和比较这些最新的技术，阐明了打印分辨率与打印效率之间的关系，以及串行扫描、并行扫描、面投影和体投影的打印模式对微纳3D打印性能的影响；最后对微纳3D打印技术进行全面总结与概述，并对其未来的发展趋势和应用前景予以展望。
中国激光
2022, 49(10): 1002703
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系, 安徽 合肥 230026
针对飞秒激光微纳加工技术中激光与加工样品相对运动的控制、聚焦光斑能量的控制中存在的问题, 提出一种基于硅基液晶空间光调制器动态加载计算全息图同时控制焦点位置和能量的新型加工方法。该方法通过加载叠加闪耀光栅的全息图, 控制单点运动来扫描加工二维结构, 无需平台移动。进一步控制全息图的挖空区域, 可以调制入射光斑的能量, 进而控制被加工点阵的形貌。利用这一加工效应, 成功实现各种可控环状结构的加工, 并在光学显微镜下测试达到相应效果, 证明这种加工方法在飞秒激光微纳加工领域具有可行性。
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