1 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽 合肥 230009
2 中国计量科学研究院，北京 100013
3 浙江工业大学机械工程学院，浙江 杭州 310014
设计了一套紫外光学线宽测量系统用于微纳线宽、栅格的测量。在原有深紫外显微镜的基础上，设计了新的探测光路，在成像面设置针孔接收来自样品的光信号，用样品扫描方式来得到样品轮廓。该装置使用紫外光学检测设备减小对象的衍射尺寸，提高检测分辨率，使用激光干涉仪对被测线宽进行溯源。用白光CCD图像实现自动聚焦，确定待测线宽样板平面位置。采用压电陶瓷纳米台在轴向采取序列图像，用聚焦评价函数来判定聚焦清晰度。通过对多种自动聚焦算法性能的比较，采用小波分解自动聚焦算法。确定了紫外成像系统的小波基、分解层数、小波消失矩等参数。
紫外光学显微镜 自动对焦 小波 ultraviolet optical microscope auto-focus wavelet
