中国电子科技集团公司第四十一研究所，山东 青岛 266555
为了消除基于光波元件分析仪的红外探 测器S参数测量中系统误差和电光调制器对测量结果的影响，提出了一种基 于12项误差系数的校准方法。在对电光调制器和红外探测 器的S参数进行建模的基础上，构建了测量系统的数据流图，并推 导出了红外探测器的S参数校准公式。在10 MHz ～ 20 GHz范围 内对红外探测器的S21参数进行了测量。本 文算法所得的数据与经过计量的 N4375D型分析仪所测得的数据的皮尔逊积矩相关系数为0.997。结果表明，数据吻 合良好，进而验证了本文算法的正确性。
红外探测器 S参数 校准技术 光波元件分析仪 infrared detector S-parameter calibration technique lightwave component analyzer
