王鑫蕊 1,2杨永兴 1,2李启统 1,2曾昶宇 1,2[ ... ]赵金标 3
作者单位
摘要
1 中国科学技术大学,安徽 合肥 230022
2 中国科学技术大学 南京天文仪器研制中心,江苏 南京 210042
3 中科院南京天文仪器有限公司,江苏 南京210042
4 上海师范大学 数理学院,上海 200234
为解决Φ2 m平面镜高精度面形检测问题,并提高瑞奇-康芒检测方法的可靠性,研究了一种基于单位激励法与逆向复算的Φ2 m平面镜面形检测技术。分析了在气流扰动、球面镜面形等误差源对单位激励面形计算方法的影响;采用单位激励与光学软件逆向复算相结合的方式,提高瑞奇康芒-检测方法的可靠性。仿真分析2 m平面镜检测过程中气流变化对面形恢复的影响,结果显示:在气流影响情况下,经过多次平均计算面形解算稳定性保持在0.003λ;在球面镜面形影响情况下,面形计算精度达到0.0079λ。采用这种方法,对实际Φ2 m平面镜进行面形加工过程控制,面形检测结果显示该平面镜的RMS达到0.0415λ,PV为0.2040λλ=632.8 nm)。该研究旨在解决误差影响情况下大口径平面镜面形检测问题,对于实际镜面加工、检测具有重要的应用意义。
2 m平面镜 瑞奇-康芒 影响矩阵 单位激励 逆向复算 Φ2 m plane mirror Ricky-Common influence matrix unit excitation reverse calculation 
红外与激光工程
2022, 51(12): 20220154
作者单位
摘要
1 中国科学院大学, 北京 100049
2 中国科学院南京天文仪器研制中心, 江苏 南京 210042
为了提升大F数下瑞奇-康芒检验的面形恢复精度,提出局部采样影响矩阵法,对干涉仪采集到的压缩椭圆图样按各像素点实际入射角大小分别建立影响矩阵,恢复像素点的面形偏差。通过该方法遍历整个平面镜镜面,得到平面镜面形。利用仿真验证了局部采样影响矩阵法的精度并和传统影响矩阵法进行详细对比,结果表明相较传统影响矩阵法,局部采样影响矩阵法在离焦、像散、三级彗差、三级像散、三级球差等因素下的精度提升十分明显,证明局部采样影响矩阵法更适合瑞奇-康芒检验的面形恢复。
测量 瑞奇-康芒检验 大口径平面镜 影响矩阵 干涉测量 
激光与光电子学进展
2018, 55(3): 031202

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