清华大学 电子工程系 北京信息科学与技术国家研究中心， 北京 100084
针对多波长集成光源阵列封装设计了一种具有低传输损耗、低串扰的阵列微波馈线。通过分析微带线和接地共面波导在传输高频微波信号时的优缺点，设计了一种桥型微波馈线结构。同时利用有限元法，对馈线尺寸参数进行仿真优化。在30GHz范围内，得到了反射系数低于-17dB、传输损耗小于0.4dB、相邻信号电极间串扰小于-26dB的仿真结果。设计了基于金线键合的阵列芯片方案，并通过有限元法仿真确定了传输性能良好的封装间距。
集成光源 封装 微波馈线 传输损耗 串扰 integrated light source package microwave transmission line transmission loss crosstalk
