1 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027
2 之江实验室，浙江 杭州 311121
激光直写技术因具有灵活的三维微纳结构加工制造能力，在工业以及各个科学领域中得到广泛应用，但要进入亚100 nm乃至亚50 nm尺度，实现高通量的三维纳米制造还是当前的技术难题。而这在后摩尔时代光电混合集成与多层堆叠集成高度发展的今天显得极为重要。从光学成像的角度，这个问题的核心就是要获得大视场和高分辨信息，即信息带宽积的最大化，在激光直写技术中，就是要实现高通量和高分辨刻写。本文将论述激光直写技术的发展，介绍本课题组在高通量激光纳米直写方向的研究进展。
激光器 光刻 激光物质相互作用 微纳制备 光学学报
2022, 42(17): 1714005
北京大学物理学院现代光学研究所, 北京 100871
通过拉盖尔-高斯(LG)模式光束的等权重线性叠加, 制备了焦斑形貌为双螺旋的光束。选择模式面内斜率为3的直线上的5个模式进行叠加, 增加了双螺旋焦斑的螺旋圈数,增强了手性并增加了谱宽, 但是同时旁瓣光较强, 双光子聚合过程中双螺旋的两个主瓣会发生粘连。提出的紧聚焦下的双高斯函数和阶跃函数相结合的优化方法, 可明显抑制旁瓣光并制备出纯相位板。将符合要求的纯相位板加载到空间光调制器中, 通过单次曝光聚合, 最终得到了高螺旋圈数且无粘连的双螺旋微结构。
激光制造 微纳制备 双螺旋微结构 双光子聚合 纯相位板
北京大学,物理学院,人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京,100871
利用近红外飞秒激光脉冲对玻璃和聚合物等透明凝聚态物质进行微纳制备.通过飞秒激光诱导的折射率变化在石英玻璃内部制备光栅等折射率型元器件;从后表面开始钻孔并引入蒸馏水,在钠钙玻璃中加工出纵横比很大的微细直孔;改变飞秒双光子聚合中激光焦点在样品中的位置,聚合出直线型和波浪型等不同形状的线条.
飞秒激光 微纳制备 透明材料 femtosecond laser micro/nano-fabrication transpare
