1 天津大学精仪学院精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072
2 山东大学数理学院,济南250061
本文研制了基于激光光栅显微投影法的表面微观形貌测量系统。该系统由激光器 ,CCD ,两个显微物镜 ,图象采集卡 ,计算机和数据处理软件组成。两个显微物镜一个用来将光栅进行缩小投影到被测物体的表面上 ,形成被被测物体表面高度所调制的条纹 ;另一只显微物镜则将被调制的条纹图像成像到CCD的靶面上 ,CCD采集的图像输入到计算机中进行相关计算而得出被测表面的微观形貌。本文介绍了该系统的测量范围和分辨率计算方法 ,并对实验数据进行了可靠性分析。结果分析表明 ,该系统能可靠地测量物体的表面微观形貌。
激光光栅显微投影法 表面微观形貌 测量系统 laser grating micro-projection method micro-topography measurement system
为了提高回波损耗,尾纤端面从平端面发展到斜端面.因此,对尾纤端面角度进行检测具有重要的意义.面向尾纤自动检测的需要,本文提出了基于显微投影图像的端面角度检测方法.在建立尾纤端面投影模型的基础上,利用显微物镜、CCD图像传感器、图像采集卡和计算机构成的显微系统获取尾纤端面的显微投影图像.通过图像处理,得到尾纤的端面角度.
尾纤端面角 显微投影 图像测量 CCD应用 angle of pigtail endface microscopic projection im
