1 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022
2 中国科学院 重庆绿色智能技术研究院 集成光电技术研究中心, 重庆 400714
3 军械工程学院 电子与光学工程系, 石家庄 050003
为了实现半导体激光器快轴准直柱透镜加工公差的快速、准确制定，在快轴光束准直理论分析的基础上，采用几何光学的方法建立了多参数加工公差理论模型。该模型以各个结构参数的极限偏差值作为公差初始值，以实际的加工精度作为边界条件，并根据具体的准直设计要求进行优化，实现各个参数公差的合理、快速分配。针对常见的TO-MOUNT型号中的一款快轴发散角为36°的半导体激光器设计了快轴准直柱透镜，利用该理论模型实现快轴准直柱透镜加工公差的快速制定，引入该公差后的ZEMAX仿真结果符合准直设计要求，且仿真的出射光束发散角与理论计算结果仅有1.1%的误差。
半导体激光器 准直柱透镜 几何光学 公差分析 极限偏差值 semiconductor laser collimation cylindrical lens geometrical optics tolerance analysis limit deviation 强激光与粒子束
2015, 27(11): 111003
