作者单位
摘要
华中科技大学 光学与电子信息学院, 武汉 430074
为了检测长导轨的直线度, 采用激光作为参考基准线, 将2维光斑位置传感器作为光电转换器件。当固定在导轨滑块上的2维光斑位置传感器沿着导轨移动时, 光斑的位置数据会通过蓝牙模块传输到终端上, 输入位置信息之后, 软件会自动绘制出导轨的2维直线度曲线。结果表明, 计算出激光偏角带来的误差远小于1μm;通过高精度位移平台, 实验验证了系统的精度可达到3.4μm;实际使用中, 检测了7.2m的长导轨, 取得了长导轨的直线度数据, 重复精度可达5μm。这一结果对长导轨直线度测量的研究是有帮助的。
激光技术 激光准直 比对实验 光斑位置传感器 laser technique laser alignment contrast experiment position sensitive detector 
激光技术
2018, 42(1): 30
作者单位
摘要
1 中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室,安徽 合肥 230031
2 中国电子科技集团公司第四十一研究所,山东 青岛 266555
低温辐射计是当前光辐射功率计量的最高标准,其测量精度的评价可以通过不同低温辐射计之间的比对来完成。开展了不同定标光路的低温辐射计比对实验。实验采用中国科学院安徽光学精密机械研究所研制的陷阱探测器作为传递标准,在633 nm波段对传递探测器的光谱响应度进行了绝对标定。比对结果表明,传递探测器的绝对光谱响应度的测量一致性为3.6×10-3,定标总合成不确定度为3.3×10-4(k=1),实验结果验证了两家单位低温绝对辐射计定标系统的可靠性和高精度。
低温辐射计 比对实验 传递探测器 新型定标光路 cryogenic radiometer comparison experiment transfer detector novel calibration schema 
红外与激光工程
2016, 45(3): 0317004
申劭萌 1,2,*马军 1何煦 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院 研究生院,北京 100039
为满足光学系统对高精度检测的要求,依据一种新型便携式干涉仪的设计方案,研究了装调方法。该型干涉仪基于改进的泰曼-格林光路结构,其设计测试精度达到λ/10(P-V,λ=630 nm),具有参考镜离轴、体积小巧、便携、精度较高、成本低及便于批量装备等新特点。针对该新型干涉仪的结构特点,研究了以两个互相垂直的光轴为基准对整体结构进行装调的新方法,并用装调完善的干涉仪进行了实测试验和比对试验。试验结果表明,该新型干涉仪器对已知面型精度为λ/10(P-V,λ=630 nm)的标准球面镜进行检测,其精度可达到0.09 λ;在相同的测试条件下进行比对实验时,该新型干涉仪对普通标准球面镜的检测结果为0.053 λ(RMS,λ=630 nm),ZYGO干涉仪的检测结果为0.051 λ(RMS,λ=632.8 nm),两者测量能力较为接近。采用新装调方法进行装调的该新型便携式干涉仪的实际检测精度达到了设计要求,新装调方法可以满足该新型干涉仪的指标要求。
光学检测 泰曼-格林干涉原理 装调 比对实验 optical testing Tyman-Green interference theory alignment technology comparison experiment 
应用光学
2011, 32(6): 1173
作者单位
摘要
1 装备指挥技术学院 士官系,北京 102200
2 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津 300072
为了获得被测导轨的直线度误差信息,采用半导体激光器发出的激光,经准直扩束后照射到楔形平板上,利用楔形平板上下表面的反射作用,将这束激光分解为交角2α的交叉光束,在这两条平行激光束交叉的范围内产生干涉条纹。将此干涉光作为准直测量的基准,用线阵CCD作为光电转换器件固定在接收靶上;检测接收靶处于被测导轨任一测量点时干涉条纹在接收靶上的位置,得到了该测量点与准直光束的偏移量。进行了重复性实验以及与光电自准直仪的比对实验。在测量长度842mm 时,直线度误差18.96μm,测量长度最远可达14m。结果表明,样机的性能、指标基本达到了预定目标。
测量与计量 激光准直 干涉条纹 线阵CCD 比对实验 measurement and metrology laser collimation interference fringe linear CCD comparison test 
激光技术
2009, 33(5): 522

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