1 广东石油化工学院理学院,广东 茂名 525000
2 佛山科学技术学院机电工程与自动化学院,广东 佛山 528225
3 长春理工大学理学院,吉林 长春 130022
表面增强拉曼散射(SERS)技术在痕量检测等领域中具有重要的作用,制备周期性微纳结构,构建表面等离子体耦合体系,是当前实现高性能SERS基底的主要方法之一。鉴于传统周期性微纳制备技术成本高、效率低等不足,提出了激光干涉诱导向前转移(LIIFT)技术,利用三光束LIIFT制备周期性Ag微点结构,并分析了结构基底的SERS特性。研究结果表明:基于LIIFT技术可以实现Ag微点结构的大面积、高效制备,并且通过调节三光束干涉光场周期,可以实现对Ag纳米颗粒的可控制备。最后,以典型食品添加剂罗丹明B(RhB)为检测对象,验证了Ag微点结构的SERS特性。该研究表明LIIFT技术是一种高效制备SERS芯片的有效途径,在食品、环境及生物工程等领域中具有潜在的应用价值。
激光技术 激光干涉光刻 激光诱导向前转移 Ag微点结构 表面增强拉曼散射特性 中国激光
2024, 51(16): 1602406
北京理工大学 光电学院 复杂环境智能感测技术工业和信息化重点实验室, 北京 100081
针对精密定位平台大行程下定位精度不足的问题, 提出一种基于非共光路外差激光干涉反馈的新型纳米精密定位系统。系统由非共光路外差激光干涉和高精度光栅构成复合反馈, 保留了高精度光栅大行程高分辨率的优势, 同时结合非共光路外差激光干涉协同定位, 消除了光栅的安装误差和变形对定位精度的影响, 提升了大行程下的定位精度。系统采用基于BP神经网络的预测微调定位技术, 一定程度上提升了定位效率。实验结果表明, 在100mm行程范围内,系统轴线双向定位精度可以达到28nm, 轴线重复定位精度可以达到26nm。通过预测定位, 定位结束门限设定为20nm时, 系统定位微调时间可由1.65s以内缩短至0.6s以内。5mm/s的速度下, 系统跟随误差可达100nm。
非共光路外差激光干涉 协同驱动 定位精度 预测定位 heterodyne laser interferometry with non-coaxial b collaborative drive positioning accuracy predictive positioning
西安科技大学通信与信息工程学院,陕西 西安 710054
提出一种可测量外腔式Fabry-Perot传感器所加载的静态/动态复合信号的腔长自补偿改进对称解调技术。在对称解调技术的基础上,通过其输出信号的直流量判断传感器腔长的变化,从而划分腔长稳定段与突变段,分段并重新进行信号解调,以保证动态分量的解调精度;同时利用腔长变化前后计算出的干涉信号相位差对腔长的变化量进行补偿,以提高静态分量的测量精度。实验证明该解调技术能够实现对静态/动态复合信号的测量。实验中实现了幅度超过100 μm复合信号的解调,大幅度腔长变化量的测量误差约为2%。该解调技术能够解调不同腔长传感器上加载的包含高频分量的静态/动态复合信号。
光纤光学 光纤传感技术 激光干涉测量 相位解调 外腔式Fabry-Perot干涉仪 光学学报
2023, 43(23): 2306002
1 中国科学院国家空间科学中心, 北京 100190
2 国科大杭州高等研究院, 杭州 310024
3 中国科学院大学, 北京 100049
4 中国科学院力学研究所, 北京 100190
空间引力波探测激光干涉系统由多路干涉仪组成,涉及到多组干涉信号的相位采集和读出,多通道相位测量系统是空间激光干涉的关键核心技术之一。本文从太极计划及其地基激光干涉实验需求入手,设计、搭建并测试了多通道相位测量系统。首先,给出多通道相位测量系统的软硬件设计,包括硬件架构设计、数字锁相环测相算法、软件架构设计等。其次,对多通道相位计进行时域功能测试,包括相位准确度和线性度。测试结果表明多通道相位测量系统在不同工况下的动静态相位线性度和准确度良好。最终,对多通道相位计进行不同通道、不同频率、不同幅值下的频域噪声测试。测试结果还表明本文设计的多通道相位计,在0.1 mHz~1 Hz频段内,相位噪声水平均优于
$ 2{\text{π}}{\text{µ}} {\rm{rad}}/\sqrt{{\rm{Hz}}} $![]()
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;不同通道之间具有很好的一致性,由通道差异或ADC芯片差异引入的相位噪声在目标频段内可以忽略不计;对于频率在5−25 MHz之间的任意干涉信号,相位计在目标频段内均满足需求。因此,该多通道相位测量系统满足空间引力波探测及地基干涉实验的需求。
相位计 空间激光干涉 太极计划 phasemeter space interferometer Taiji program
中国计量科学研究院力学与声学计量科学研究所,北京 100029
针对激光干涉法高强度聚焦超声(HIFU)声压测量中干涉系统带宽解算依赖线性声场条件,导致解算结果与实际有较大差异的问题,首先通过理论分析,建立了HIFU声压测量中干涉信号的数理模型;针对非线性声场条件下干涉信号无法进行函数展开的情况,利用数值仿真的方法对干涉信号的频域进行分析;通过对比具有相同声压峰峰值和基频的线性和非线性声场条件下的干涉信号频谱,发现了非线性声场对激光干涉信号带宽的展宽作用,证明了现有线性声场条件下干涉系统带宽的估算方法不适用于HIFU声压测量;利用实测HIFU声压数据,通过仿真分析,发现在非线性声场条件下,激光干涉系统带宽随被测声压峰峰值呈二次方规律变化,而不是线性声场条件下的线性变化规律。
测量 高强度聚焦超声 声压测量 激光干涉系统带宽 非线性声场 中国激光
2023, 50(13): 1304002
光学 精密工程
2023, 31(11): 1593
1 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春 130022
2 长春理工大学空间光电技术国家地方联合工程研究中心,吉林 长春 130022
引力波探测激光干涉仪对四象限探测器性能提出了较高的技术要求。为了提升四象限探测器光斑位置检测精度,搭建四象限探测器相干探测仿真系统,构建位置检测数学模型,分析位置检测精度与系统信噪比、光斑半径和光斑质心位置三个关键参数以及相干混频增益的关系。基于蒙特卡罗仿真方法并采用LabView软件搭建四象限探测器光斑位置检测计算机仿真系统,深入分析系统中高斯光斑产生、光斑质心位置解算以及误差评判三部分主要过程,分析各个关键参数对位置检测精度的影响。仿真结果表明,提升系统信噪比、减小光斑半径以及选取靠近光敏面中心的光斑质心位置可以提高位置检测精度。将仿真结果与理论计算结果进行对比,验证了数学模型的有效性,提升了蒙特卡罗仿真置信度。
探测器 激光干涉仪 引力波探测 四象限探测器 蒙特卡罗仿真方法 位置检测精度 系统信噪比 中国激光
2023, 50(13): 1306004
1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150080
2 超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室,黑龙江 哈尔滨 150080
激光干涉位移测量技术因具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等特点,成为当前与下一代高端装备、超精密计量的基础性技术之一。在简要介绍国内外现有的各类亚纳米级激光干涉仪的基础上,重点从“精”“准”“快”方面综述了面向亚纳米、皮米级激光干涉位移测量技术的研究成果。首先,从激光干涉测量原理出发,分析了限制激光干涉仪中测量分辨力、速度等进一步提升的主要误差项及技术难点;其次,重点列举了近年来国内外在激光器高精度稳频、高精度干涉镜组、高速/高分辨力相位细分技术、环境补偿与控制等方面所取得的重大关键技术突破;最后,对下一代超精密激光干涉位移测量技术的发展趋势进行了总结与展望。
激光干涉仪 亚纳米与皮米测量 激光稳频 信号处理 激光与光电子学进展
2023, 60(3): 0312016